细美事有限公司具世薰获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551288B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111388102.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置和方法是由具世薰;李正洙;郑畅和;吴英圭;洪忠吾设计研发完成，并于2021-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置和方法。在本发明的实施例中，基板处理装置包括：工作台，基板放置于该工作台上；喷嘴，其用于将液体施用到放置于工作台上的基板上；喷嘴驱动单元，其用于在等待位置与施用位置之间移动喷嘴；液槽，其用于在等待位置容纳从喷嘴排出的液体；异物检测单元，其用于检测放置于工作台上的基板上的异物；移动部件，其用于在工作台上移动异物检测单元；控制器；其中，控制器控制喷嘴、异物检测单元、以及移动部件，以在喷嘴在等待位置执行预加液期间，使异物检测单元执行基板上的异物检测；等待位置为喷嘴脱离放置于工作台上的基板的位置，而施用位置为喷嘴设置在与放置于工作台上的基板对应的区域中的位置。
本发明授权基板处理装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 工作台，基板放置于所述工作台上； 喷嘴，所述喷嘴将液体施用到放置于所述工作台上的所述基板上； 喷嘴驱动单元，所述喷嘴驱动单元在等待位置与施用位置之间移动所述喷嘴； 液槽，所述液槽在所述等待位置容纳从所述喷嘴排出的所述液体； 异物检测单元，所述异物检测单元检测放置于所述工作台上的所述基板上的异物； 移动部件，所述移动部件在所述工作台上移动所述异物检测单元； 控制器； 其中，所述控制器控制所述喷嘴、所述异物检测单元、以及所述移动部件，以在所述喷嘴在所述等待位置执行预加液期间，使所述异物检测单元执行所述基板上的异物检测； 所述等待位置为所述喷嘴脱离放置于所述工作台上的所述基板的位置，而所述施用位置为所述喷嘴设置在与放置于所述工作台上的所述基板对应的区域中的位置。
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