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龙图腾网获悉苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司申请的专利一种晶圆校正吸附装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114724998B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210226761.3，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权一种晶圆校正吸附装置是由周春雪;商秋锋设计研发完成，并于2022-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆校正吸附装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆校正吸附装置，包括基板、轴承件、吸附载台、真空发生装置和带传动机构，所述轴承件包括固定在基板上的内圈以及可转动的外圈，所述外圈与所述吸附载台固定连接，所述带传动机构驱动所述轴承件的外圈旋转，从而带动所述吸附载台旋转；所述吸附载台设有若干吸附孔，所述若干吸附孔连通所述真空发生装置，所述真空发生装置用于产生吸附气流而将产品固定在所述吸附载台上。本发明通过轴承件驱动吸附载台旋转，以调节固定在吸附载台上的晶圆的位置，使其与检测机构的位置相对应，提高产品在检测时的位置精度。

本发明授权一种晶圆校正吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆校正吸附装置，其特征在于，包括基板1、轴承件2、吸附载台3、真空发生装置和带传动机构，所述轴承件2包括固定在基板1上的内圈202以及可转动的外圈201，所述外圈201与所述吸附载台3固定连接，所述带传动机构驱动所述轴承件2的外圈201旋转，从而带动所述吸附载台3旋转；所述吸附载台3设有若干吸附孔11，所述若干吸附孔11连通所述真空发生装置，所述真空发生装置用于产生吸附气流而将产品固定在所述吸附载台3上； 还包括限位机构7，所述限位机构7包括固定端和限位端，所述固定端固定连接所述基板1，所述限位端与所述吸附载台3相抵并向所述吸附载台3施加朝向旋转轴的作用力； 所述固定端为连接块701，所述限位端为滚轮702，所述连接块701的一端连接滚轮702，另一端固定安装在所述基板1上；所述吸附载台3的周面开设有一圈限位槽，所述滚轮702与所述限位槽相抵； 所述限位槽为V型限位槽3011，所述滚轮702与所述V型限位槽3011相接触的面设置为相匹配的V型结构； 所述吸附载台3包括用于固定产品的承载部分，以及位于所述承载部分下方、与所述承载部分可拆卸连接且同轴设置的随动部分，所述限位槽开设在所述随动部分的周面。

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