智慧星空(上海)工程技术有限公司;深圳智达星空科技(集团)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司;深圳智达星空科技(集团)有限公司申请的专利一种改善基板变形的支撑件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975217B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210446631.0，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权一种改善基板变形的支撑件是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2022-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善基板变形的支撑件在说明书摘要公布了：本发明属于精密制造设备技术领域，具体涉及一种改善基板变形的支撑件，用于在精密刻蚀工艺时支撑所述基板，所述支撑件为环形支撑件，用于自所述基板的外围边缘部分支撑所述基板，与所述基板的接触部分设置有吸附部；所述吸附部用于消除所述基板放置在所述支撑件后产生的边缘翘曲。本发明对薄基板在重力作用造成的变形进行改善，通过在基板边缘施加吸附力或者压力来补偿基板有效区域由于重力造成的影响，防止在基板的边缘区域产生变形，保证其结构分辨率和均匀性，提高其加工效率。
本发明授权一种改善基板变形的支撑件在权利要求书中公布了：1.一种改善基板变形的支撑件，用于在精密刻蚀工艺时支撑所述基板，其特征在于，所述支撑件为环形支撑件，所述支撑件设置有与所述基板的无源区域边缘形状相匹配的支撑部分，用于自所述基板的外围边缘部分支撑所述基板并使得所述基板中部的有源区域处于悬空状态，所述支撑部分上与所述基板的接触部分设置有吸附部；所述吸附部用于消除所述基板放置在所述支撑件后产生的边缘翘曲； 所述吸附部为负压吸附槽，所述负压吸附槽为多组，且相互平行设置；所述吸附部基于负压装置和导气管在所述负压吸附槽处产生负压；所述负压装置用于产生气体负压，基于各所述导气管连接各所述负压吸附槽，自所述基板的重心点的扩散方向，所述负压吸附槽对所述基板的吸附力递增。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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