家登精密工业股份有限公司邱铭乾获国家专利权
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龙图腾网获悉家登精密工业股份有限公司申请的专利光掩膜储存盒及光掩膜固持方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115079508B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210242935.5，技术领域涉及：G03F1/22；该发明授权光掩膜储存盒及光掩膜固持方法是由邱铭乾;庄家和;薛新民;温星闵设计研发完成，并于2022-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本光掩膜储存盒及光掩膜固持方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种光掩膜储存盒及光掩膜固持方法，包括一基座，其具有多个支撑件，每个所述支撑件用于支撑一光掩膜的一隅角，每个所述支撑件向上延伸一对限位块，该对限位块分别位于所述隅角的两个侧面；以及一封盖，对应多个所述支撑件分别配置有多个弹性下压机构，多个所述弹性下压机构与多个所述支撑件分别对应设置，每个所述弹性下压机构具有至少一弹性臂，所述弹性臂作用于对应的所述支撑件所支撑的所述光掩膜的所述隅角；其中，在所述封盖与所述基座盖合以收容所述光掩膜的状态下，该对限位块限制所述弹性臂的横向位移；本发明的光掩膜储存盒具备足够的防止外部微粒入侵的保护机制，且无须复杂结构与加工，有助于降低制造成本。
本发明授权光掩膜储存盒及光掩膜固持方法在权利要求书中公布了：1.一种光掩膜储存盒，其特征在于，包括： 一基座，其具有多个支撑件，每个所述支撑件用于支撑一光掩膜的一隅角，每个所述支撑件向上延伸一对限位块，该对限位块分别位于所述隅角的两个侧面；以及 一封盖，对应多个所述支撑件分别配置有多个弹性下压机构，每个所述弹性下压机构具有至少一弹性臂，所述弹性臂具有一限位部以及自所述限位部延伸形成的一倾斜面，所述倾斜面作用于对应的所述支撑件所支撑的所述光掩膜的所述隅角； 其中，在所述封盖与所述基座盖合以收容所述光掩膜的状态下，该对限位块限制所述弹性臂的横向位移。
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