环球晶圆股份有限公司王上棋获国家专利权
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龙图腾网获悉环球晶圆股份有限公司申请的专利晶圆表面缺陷检测方法及其装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115127999B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210055920.8，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权晶圆表面缺陷检测方法及其装置是由王上棋;陈苗霈;吴翰宗;蔡佳琪;李依晴设计研发完成，并于2022-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆表面缺陷检测方法及其装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆表面缺陷检测方法及晶圆表面缺陷检测装置。所述方法包括：接收晶圆的扫描信息，其中所述扫描信息包括多个扫描参数；决定所述扫描信息的至少一参考点，并根据所述至少一参考点及参考值产生路径信息；根据所述路径信息取得所述扫描参数中对应所述路径信息的多个第一扫描参数，以产生曲线图；以及根据所述曲线图判断所述晶圆是否具有缺陷并判断所述缺陷的缺陷类型。
本发明授权晶圆表面缺陷检测方法及其装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面缺陷检测方法，适用于包括处理器的电子装置，所述方法包括： 接收晶圆的扫描信息，其中所述扫描信息包括多个扫描参数； 决定所述扫描信息的至少一参考点，并根据所述至少一参考点及参考值产生路径信息； 根据所述路径信息取得所述扫描参数中对应所述路径信息的多个第一扫描参数，以产生曲线图，包括沿着所述路径信息的方向，从所述扫描信息中所述路径信息对应的像素取得所述多个第一扫描参数，根据取得所述多个第一扫描参数的顺序产生所述曲线图；以及 根据所述曲线图判断所述晶圆是否具有缺陷并判断所述缺陷的缺陷类型，包括： 计算所述曲线图中各相邻波峰或各相邻波谷之间的距离以及是否超过门槛值；其中 若各所述距离之间的差值皆小于第一门槛值，且所述第一扫描参数中的至少一个大于第二门槛值，判断所述晶圆具有所述缺陷； 若各所述距离之间的差值中的至少一个不小于所述第一门槛值，且所述第一扫描参数中的至少一个大于所述第二门槛值，判断所述晶圆具有所述缺陷；以及 若所述第一扫描参数皆不大于所述第二门槛值，判断所述晶圆不具有所述缺陷。
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