株式会社东芝平井隆介获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社东芝申请的专利缺陷分类装置、方法以及程序获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115131596B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110907048.0,技术领域涉及:G06V10/764;该发明授权缺陷分类装置、方法以及程序是由平井隆介;浅香沙织;坂田幸辰;谷沢昭行设计研发完成,并于2021-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本缺陷分类装置、方法以及程序在说明书摘要公布了:本发明的实施方式涉及缺陷分类装置、方法以及程序。提供能够支持高精度的缺陷检查的缺陷分类装置、方法以及程序。缺陷分类装置包括第1获取部、第2获取部、变换部、计算部、检测部以及分类部。第1获取部获取与第1检查对象有关的第1设计图像,该第1设计图像是基于利用设计软件制作的设计数据的图像。第2获取部获取第1摄影图像,该第1摄影图像是对基于设计数据生成的第1检查对象进行摄影而得到的。变换部将第1设计图像变换为使用对没有缺陷的第2检查对象进行摄影得到的第2摄影图像表达的参照图像。计算部计算参照图像的置信度。检测部比较参照图像和第1摄影图像,检测第1检查对象中的缺陷。分类部基于置信度对缺陷进行分类。
本发明授权缺陷分类装置、方法以及程序在权利要求书中公布了:1.一种缺陷分类装置,具备: 第1获取部,获取与第1检查对象有关的第1设计图像,该第1设计图像是基于利用设计软件制作的设计数据的图像; 第2获取部,获取第1摄影图像,该第1摄影图像是对基于所述设计数据生成的所述第1检查对象进行摄影而得到的; 变换部,将所述第1设计图像变换为使用第2摄影图像表达的参照图像,该第2摄影图像是对没有缺陷的第2检查对象进行摄影而得到的; 计算部,根据生成所述参照图像时的第1检查对象与第2检查对象的设计数据的类似度来计算所述参照图像的置信度; 检测部,比较所述参照图像和所述第1摄影图像,检测所述第1检查对象中的缺陷;以及 分类部,基于所述置信度对所述缺陷进行分类,其中 作为所述第2摄影图像的部分图像的第2摄影补丁图像与作为基于与所述第2检查对象有关的设计数据的第2设计图像的部分图像的第2设计补丁图像被关联起来, 所述变换部使与和作为从所述第1设计图像切取一部分得到的部分图像的第1设计补丁图像类似的第2设计补丁图像关联起来的第2摄影补丁图像与所述第1设计补丁图像的切取位置对应地粘贴,从而生成所述参照图像, 所述第1设计补丁图像与所述第2设计补丁图像的类似度越高,则所述计算部将所述切取位置的所述置信度设定得越高, 所述缺陷的分类包括应修正的缺陷、在电路的动作方面不会成为问题的缺陷、对合格产品误检测出的伪缺陷, 在与所述缺陷的位置对应的置信度小于阈值的情况下,所述分类部将所述缺陷分类为伪缺陷。
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