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龙图腾网获悉北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司申请的专利压力传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115541068B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211134161.0，技术领域涉及：G01L1/14；该发明授权压力传感器及其制造方法是由王立会;李月;魏秋旭;任艳飞;张韬楠;郭伟龙;常文博;丁丁设计研发完成，并于2022-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本压力传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种压力传感器及其制造方法，其中，压力传感器包括衬底，所述衬底包括第一电容区域，所述衬底内于所述第一电容区域的预定深度范围，形成有第一掺杂区，所述第一掺杂区作为第一电容的第一极板，衬底内设置有第一空腔；第二极板，设置于所述衬底的其中一侧，在所述衬底的正投影中，所述第一极板与所述第二极板和所述第一空腔均至少部分重叠，且所述第一空腔位于所述第一极板与所述第二极板之间。上述方案，通过对衬底进行掺杂，以在衬底内形成第一极板，且在衬底内形成第一空腔，相较于现有技术，不需要沉积用于形成第一极板的导电膜层以及用于形成第一空腔的牺牲层，因此，简化了制备工艺步骤，降低了制造成本。

本发明授权压力传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种压力传感器，其特征在于，包括： 衬底，所述衬底包括第一电容区域，所述衬底内于所述第一电容区域的预定深度范围，形成有第一掺杂区，所述第一掺杂区作为第一电容的第一极板，所述衬底内刻蚀有第一空腔； 第二极板，设置于所述衬底的其中一侧，在所述衬底的正投影中，所述第一极板与所述第二极板和所述第一空腔均至少部分重叠，且所述第一空腔位于所述第一极板与所述第二极板之间； 所述衬底还包括第二电容区域，所述衬底内于所述第二电容区域的预定深度范围，形成有第二掺杂区，所述第二掺杂区作为第二电容的第三极板，所述衬底内设置有第二空腔； 第三极板，设置于所述衬底的其中一侧，在所述衬底的正投影中，所述第三极板与所述第四极板和所述第二空腔均至少部分重叠，且所述第二空腔位于所述第三极板与所述第四极板之间； 所述第四极板背离所述第三极板的一侧设置有刚性支持层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区西环中路8号2幢C区3层C-301、C-302；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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