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龙图腾网获悉长光卫星技术股份有限公司申请的专利一种靶面角度可调节的防溅射靶获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115628888B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211093865.8，技术领域涉及：G01M13/00；该发明授权一种靶面角度可调节的防溅射靶是由郑鸿儒;范林东;胡建龙;孟德利;戴路设计研发完成，并于2022-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种靶面角度可调节的防溅射靶在说明书摘要公布了：一种靶面角度可调节的防溅射靶，涉及用于降低溅射产物返流污染的防溅射系统技术，解决现有对不同来流条件产生的溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。本发明包括防溅射靶骨架主体、防溅射靶翅片组和固定支杆组；防溅射靶骨架主体包括冷却圆管、上冷却直管、下冷却直管、支撑管、进液管和出液管；冷却圆管所在平面法向上、下两端分别连接有出液管、进液管；冷却圆管分别与上冷却直管、下冷却直管焊接连通；下冷却直管下方设置有支撑管，支撑管两端焊接在冷却圆管上；多个防溅射靶翅片组组成一个圆形平板；上冷却直管和下冷却直管上分别固定有两个固定支杆组。本发明减少高能粒子轰击面积并调节轰击角度，降低溅射产物生成量。

本发明授权一种靶面角度可调节的防溅射靶在权利要求书中公布了：1.一种靶面角度可调节的防溅射靶，包括防溅射靶骨架主体、防溅射靶翅片组和固定支杆组；所述防溅射靶骨架主体包括冷却圆管、上冷却直管、下冷却直管、支撑管、进液管和出液管；其特征是： 所述冷却圆管所在平面法向上、下两端分别连接有出液管、进液管； 所述冷却圆管分别与上冷却直管、下冷却直管焊接连通； 所述下冷却直管下方设置有支撑管，支撑管两端焊接在冷却圆管上； 所述防溅射靶翅片组有多个；多个防溅射靶翅片组组成一个圆形平板；每个防溅射靶翅片组均包括第一翅片、第二翅片和连接折页； 所述第一翅片和第二翅片通过连接折页连接； 所述上冷却直管和下冷却直管上分别固定有两个固定支杆组，用于固定每组防溅射靶翅片组中第一翅片和第二翅片；不同翅片组之间的距离可独立调节； 所述固定支杆组包括两个固定支杆和两个半圆卡箍，第一翅片与第二翅片上焊接有安装凸耳； 每个固定支杆的一端与第一翅片或第二翅片上的凸耳通过螺栓固定，另一端与半圆卡箍上的凸耳通过螺栓固定； 两个半圆卡箍通过螺栓固定在上冷却直管和下冷却直管上； 所述下冷却直管上连接的固定支杆通过支撑管支撑，以保持各防溅射靶翅片组高度一致； 所述第一翅片和第二翅片均采用溅射率低的钛板制成。

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