罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司M·R·加丁科获国家专利权
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龙图腾网获悉罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司申请的专利可压缩非网状聚脲抛光垫获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115805536B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211099172.X，技术领域涉及：B24D11/00；该发明授权可压缩非网状聚脲抛光垫是由M·R·加丁科;J·索设计研发完成，并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本可压缩非网状聚脲抛光垫在说明书摘要公布了：本发明提供了一种适用于对半导体、光学、磁性或机电衬底中的至少一种进行抛光的抛光垫。所述抛光垫包含聚脲抛光层和聚脲基质。所述聚脲基质具有软链段，所述软链段是脂肪族无氟聚合物基团和具有至少六个碳的长度的碳氟化合物的共聚物。所述聚脲基质是通过固化剂固化的并且包含气体或液体填充的聚合物微元件。所述聚脲基质具有本体区域和与所述本体区域相邻延伸至所述抛光层的过渡区域。所述过渡区域中的聚合物微元件随着其接近所述抛光层而厚度减小，其中与所述抛光层相邻的压缩微元件的厚度小于所述本体区域中的聚合物微元件的直径的百分之五十。所述抛光层在剪切条件下在抛光期间仍然是亲水的。
本发明授权可压缩非网状聚脲抛光垫在权利要求书中公布了：1.一种适用于对半导体、光学、磁性或机电衬底中的至少一种进行抛光的抛光垫，其包含： 聚脲抛光表面，所述聚脲抛光表面包含聚脲基质，所述聚脲基质具有软链段和硬链段，所述软链段是脂肪族无氟聚合物基团和具有至少六个碳的长度的碳氟化合物的共聚物，所述聚脲基质是通过固化剂固化的并且包含气体或液体填充的聚合物微元件，所述聚脲基质具有本体区域、与所述本体区域相邻延伸至所述抛光表面的过渡区域，所述聚合物微元件在所述聚脲基质的所述本体区域中具有直径并且是球形的，所述过渡区域中的所述聚合物微元件的厚度随着其接近所述抛光表面而减小，其中与所述抛光表面相邻的压缩微元件的厚度小于所述本体区域中的所述聚合物微元件的直径的百分之五十，并且聚合物微球在抛光期间在所述抛光表面处破裂，其中所述抛光表面在剪切条件下在抛光期间仍然是亲水的。
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