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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理系统、以及群管理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115863213B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211151622.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理系统、以及群管理装置是由木村隆一;宫崎稔久;松井浩彬设计研发完成，并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理系统、以及群管理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理系统以及群管理装置。基板处理系统100具备多个基板处理装置1、以及群管理装置2。基板处理装置具备计划创建部53。计划创建部创建示出使用处理液的定时和处理液的流量的计划。从共用的必需能力设备PF向多个基板处理装置供给处理液。群管理装置具备处理部203。处理部基于多个基板处理装置的每一个创建的计划判断多个基板处理装置要使用的处理液的总流量是否超过阈值TH，在判断为总流量超过阈值的情况下，向多个基板处理装置中的某一个指示调整计划。被指示了调整计划的基板处理装置的计划创建部创建总流量为阈值以下的计划。

本发明授权基板处理系统、以及群管理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，其具备对基板进行处理的多个基板处理装置、和管理所述多个基板处理装置的群管理装置，所述基板处理系统的特征在于， 所述多个基板处理装置分别具备： 计划创建部，其创建示出使用处理液的定时和所述处理液的流量的计划；以及 第1通信部，其与所述群管理装置进行通信，向所述群管理装置发送所述计划， 从共用的必需能力设备向所述多个基板处理装置供给所述处理液， 所述群管理装置具备： 存储部，其存储针对从所述必需能力设备供给的所述处理液的流量的阈值； 第2通信部，其与所述多个基板处理装置进行通信，从所述多个基板处理装置的每一个接收所述计划；以及 处理部，其基于由所述第2通信部接收到的所述计划，获取所述多个基板处理装置要使用的所述处理液的总流量，判断所述总流量是否超过所述阈值， 所述处理部响应于判断为所述总流量超过所述阈值，经由所述第2通信部向所述多个基板处理装置中的某一个指示调整所述计划， 作为所述多个基板处理装置中的、被指示了调整所述计划的基板处理装置的指示对象装置的所述计划创建部创建所述总流量为所述阈值以下的所述计划， 所述处理部在指示调整所述计划时，经由所述第2通信部向所述指示对象装置发送所述多个基板处理装置的所述计划、所述处理液的总流量、或表示将所述总流量设为所述阈值以下的调整量的调整量信息， 所述指示对象装置的所述计划创建部基于所述多个基板处理装置的所述计划、所述处理液的总流量、或所述调整量信息，创建所述总流量为所述阈值以下的所述计划。

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