昭和电工材料株式会社小野裕获国家专利权
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龙图腾网获悉昭和电工材料株式会社申请的专利研磨液及研磨方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115917710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280004679.4，技术领域涉及：C09K3/14；该发明授权研磨液及研磨方法是由小野裕;井上惠介;地主孝广设计研发完成，并于2022-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨液及研磨方法在说明书摘要公布了：一种研磨液，其用于研磨包含钨材料的被研磨面，该研磨液含有磨粒、含铁化合物及氧化剂，磨粒包含二氧化硅粒子，磨粒的平均粒径为40～140nm，二氧化硅粒子的硅烷醇基密度为8.0个nm2以下。一种研磨方法，使用该研磨液来研磨包含钨材料的被研磨面。
本发明授权研磨液及研磨方法在权利要求书中公布了：1.一种研磨液，其用于研磨包含钨材料的被研磨面， 该研磨液含有磨粒、含铁化合物及氧化剂， 所述磨粒包含二氧化硅粒子， 所述磨粒的平均粒径为40～140nm， 所述二氧化硅粒子的硅烷醇基密度为8.0个m2以下, 所述研磨液中的所述二氧化硅粒子的Zeta电位为4mV以下， 以所述研磨液的总质量为基准，铝原子的含量0.000005质量％以下。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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