环球晶圆股份有限公司朱酉致获国家专利权
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龙图腾网获悉环球晶圆股份有限公司申请的专利长晶掺杂设备及长晶掺杂方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115928194B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210563879.5,技术领域涉及:C30B15/04;该发明授权长晶掺杂设备及长晶掺杂方法是由朱酉致;林塘棋;吴汉声;曾贤达设计研发完成,并于2022-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本长晶掺杂设备及长晶掺杂方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种长晶掺杂设备及配合长晶掺杂设备实施的一种长晶掺杂方法。长晶掺杂设备包括一长晶炉以及设置于长晶炉的一掺杂装置,并且掺杂装置包含沿相对于一水平方向倾斜的一斜插方向穿设于长晶炉的一进料管、设置于进料管内的一储料罩与一闸门管体。进料管形成有在其外表面上延伸的一放置口,并且放置口从其边缘沿斜插方向凹陷形成一上凹部及一下凹部。储料罩可分离地设置于闸门管体内,并且储料罩包含一储料槽以及形成于储料槽的外表面的一提把。当储料罩设置于闸门管体内时,闸门管体能用来隔绝放置口与进料管的内部空间。借此来避免发生掺杂物以及长晶掺杂设备的内部污染问题,并避免掺杂物在取出放入时容易撞击放置口的问题。
本发明授权长晶掺杂设备及长晶掺杂方法在权利要求书中公布了:1.一种长晶掺杂设备,其特征在于,所述长晶掺杂设备包括: 一长晶炉,包含一炉体及设置于所述炉体内部的一坩埚,并且所述坩埚用来容纳一熔融原料;以及 一掺杂装置,包含: 一进料管,沿相对于一水平方向倾斜的一斜插方向穿设于所述炉体,并且所述进料管形成有在所述进料管的外表面上延伸的一放置口;其中,所述放置口自边缘沿所述斜插方向凹陷形成一上凹部及一下凹部; 一储料罩,能拆卸地设置于所述进料管内,并且所述储料罩包含一储料槽以及形成于所述储料槽的外表面的一提把;及 一闸门管体,设置于所述进料管内,并且所述储料罩能分离地设置于所述闸门管体内;其中,当所述储料罩设置于所述闸门管体内时,所述闸门管体能用来隔绝所述放置口与所述进料管的内部空间。
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