哈尔滨工业大学(深圳)薛高鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(深圳)申请的专利一种三维扫描位移平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116026219B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310061904.4，技术领域涉及：G01B7/02；该发明授权一种三维扫描位移平台是由薛高鹏;王增义;钱虹霖;李兵设计研发完成，并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三维扫描位移平台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种三维扫描位移平台，包括静电驱动式的面内二维定位平台、压电致动组件和固定边框，所述压电致动组件包括偶数个压电致动单元，所述压电致动单元通过在硅基底上设置压电薄膜片形成，各个所述压电致动单元的一端连接在所述面内二维定位平台的外边缘处，另一端连接在所述固定边框的内边缘处，且偶数个所述压电致动单元以所述面内二维定位平台在第一方向和或第二方向的中心线对称设置，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。本发明提出的三维扫描位移平台，各轴方向的运动具有非耦合性，解决了三维方向运动串扰问题，且面外方向可产生大位移行程。
本发明授权一种三维扫描位移平台在权利要求书中公布了：1.一种三维扫描位移平台，其特征在于，包括静电驱动式的面内二维定位平台、压电致动组件和固定边框，所述压电致动组件包括偶数个压电致动单元，所述压电致动单元通过在硅基底上设置压电薄膜片形成，各个所述压电致动单元的一端连接在所述面内二维定位平台的外边缘处，另一端连接在所述固定边框的内边缘处，且偶数个所述压电致动单元以所述面内二维定位平台在第一方向和或第二方向的中心线对称设置，所述第一方向和所述第二方向相互垂直；所述压电致动单元包括一个压电致动器或多个相互连接的压电致动器，所述压电致动器上设有运动端和固定端，其中，每个所述压电致动单元中的最内侧的所述压电致动器的运动端连接在所述面内二维定位平台的外边缘处，且每个所述压电致动单元中的最外侧的所述压电致动器的固定端连接在所述固定边框的内边缘处。
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