株式会社村田制作所岸杭薫获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社村田制作所申请的专利压力传感器构造、压力传感器装置及压力传感器构造的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116134625B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180059986.8,技术领域涉及:G01L9/00;该发明授权压力传感器构造、压力传感器装置及压力传感器构造的制造方法是由岸杭薫;吉田康一设计研发完成,并于2021-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本压力传感器构造、压力传感器装置及压力传感器构造的制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及检测电极间的静电电容的变化的压力传感器构造。压力传感器构造1具备:传感器主体,其包括作为传感电极发挥作用的隔膜板40、与隔膜板40相对的基底电极22和维持隔膜板40与基底电极22之间的间隙G的侧壁层30;以及导电性的保护基板10,其用于支承该传感器主体。侧壁层30包括保护电极层32及将保护电极层32电绝缘的上侧保护电绝缘层31和下侧保护电绝缘层33。在保护基板10和传感器主体之间设有将保护基板10电绝缘的电绝缘层21。保护基板10与保护电极层32电连接,与保护电极层32一同作为保护电极发挥作用。利用这样的结构,能够抑制干扰的影响,能够实施高精度的压力测量。
本发明授权压力传感器构造、压力传感器装置及压力传感器构造的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种压力传感器构造,其用于检测电极间的静电电容的变化,其中, 该压力传感器构造具备: 传感器主体,其包括作为传感电极发挥作用的隔膜板、与该隔膜板相对的基底电极、和侧壁层,该侧壁层包括保护电极层及将该保护电极层电绝缘的上侧保护电绝缘层和下侧保护电绝缘层,利用所述上侧保护电绝缘层维持所述隔膜板与所述基底电极之间的间隙;以及 导电性的保护基板,其用于支承该传感器主体, 所述保护基板与所述保护电极层电连接,与所述保护电极层一同作为保护电极发挥作用, 在所述保护基板和所述传感器主体之间设有将所述保护基板电绝缘的电绝缘层, 所述基底电极与所述保护电极层设于同一层内,与所述保护电极层电隔离, 在所述电绝缘层和所述传感器主体之间,第2基底电极和第2保护电极层设于同一层内,相互电隔离, 所述第2基底电极与所述基底电极电连接。
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