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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利射频功率源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116437553B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310348360.X，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权射频功率源系统是由杨景华;贾少霞;金婷;蔡建;刘芳芳;张振华;张兴华;李龙设计研发完成，并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本射频功率源系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种射频功率源系统，包括：信号源模块，第一级放大电路、离子束流测量电路8、直流电压产生电路7、第二级放大电路3和负载谐振匹配电路4通过集成控制模块和负载匹配电路解决现有技术中存在的射频功率源系统体积大和负载适应范围较窄的问题。

本发明授权射频功率源系统在权利要求书中公布了：1.一种射频功率源系统，其特征在于，包括： 信号源模块，与第一级放大电路、负载谐振匹配电路4、离子束流测量电路8以及直流电压产生电路7连接，接收由负载谐振匹配电路4耦合产生的第一模拟信号，将第一模拟信号作为控制量产生不同频率的方波信号，将不同频率的方波信号发送至第一级放大电路，接收由离子束流测量电路8耦合产生的第二模拟信号，将第二模拟信号作为直流电压产生电路7输出电压大小的控制量，产生不同占空比的方波信号发送至直流电压产生电路7； 第一级放大电路，与第二级放大电路3连接，用于将不同频率的方波信号进行一级功率放大后输入第二级放大电路3； 离子束流测量电路8，与信号源模块连接，用于将采集到的离子束流模拟小信号反馈给信号源模块； 直流电压产生电路7，与信号源模块和第二级放大电路3连接，用于将信号源模块产生的不同占空比的方波信号进行放大，变为输出电压可调的直流信号，并将直流信号输入到第二级放大电路3中控制负载射频功率输出，从而实现控制系统离子束流的目的； 第二级放大电路3，与负载谐振匹配电路4连接，用于将一级功率放大后的方波信号进行二级放大后输入负载谐振匹配电路4； 负载谐振匹配电路4，与信号源模块和负载连接，用于将二级放大后的方波信号进行谐振滤波后得到准正弦波信号，将所述准正弦波信号输入至负载，对负载输入端进行电压电流采样后得到的耦合信号反馈给信号源模块；其中， 所述负载谐振匹配电路4包括：串联电容13、并联电容14、等离子负载自身等效电感16、第一等效电阻15、入射反射功率信号采集电路5和等离子体负载传输线等效电路20；第二放大电容12与串联电容13串联连接，与并联电容14并联连接，并联电容14与入射反射功率信号采集电路5连接，入射反射功率信号采集电路5与等离子体负载传输线等效电路20连接，等离子体负载传输线等效电路20与等离子负载自身等效电感16连接，等离子负载自身等效电感16与第一等效电阻15连接。

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