中国科学院上海硅酸盐研究所苏良碧获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海硅酸盐研究所申请的专利一种大尺寸氟化物晶体自适应退火坩埚获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116676667B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310623522.6,技术领域涉及:C30B29/12;该发明授权一种大尺寸氟化物晶体自适应退火坩埚是由苏良碧;张博;唐飞;寇华敏;钱小波;王静雅;姜大朋;张中晗设计研发完成,并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸氟化物晶体自适应退火坩埚在说明书摘要公布了:一种大尺寸氟化物晶体自适应退火坩埚,包括:坩埚底盘,所述坩埚底盘具有位于径向内侧的底盘内环、位于径向外侧的底盘外环和连接所述底盘内环与所述底盘外环的下自适应层;坩埚盖,所述坩埚盖具有位于径向内侧的盖内环、位于径向外侧的盖外环和连接所述盖内环与所述盖外环的上自适应层;坩埚内筒,所述坩埚内筒为由多个分瓣结构拼接组成,可活动地垂直设于所述底盘内环与所述盖内环之间;且所述坩埚内筒可沿所述内筒的径向膨胀和收缩;以及导向结构,所述导向结构用于限定所述坩埚内筒膨胀和收缩的方向。本发明能够解决晶体在退火过程中不能自由膨胀收缩而使晶体内的应力无法释放的问题。
本发明授权一种大尺寸氟化物晶体自适应退火坩埚在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸氟化物晶体自适应退火坩埚,其特征在于,包括: 坩埚底盘,所述坩埚底盘具有位于径向内侧的底盘内环、位于径向外侧的底盘外环、和连接所述底盘内环与所述底盘外环,形成所述底盘内环和所述底盘外环之间的环形间隙的下自适应层; 坩埚盖,所述坩埚盖具有位于径向内侧的盖内环、位于径向外侧的盖外环、和连接所述盖内环与所述盖外环,形成所述盖内环和所述盖外环之间的环形间隙的上自适应层; 坩埚内筒,所述坩埚内筒为由多个分瓣结构拼接组成,可活动地垂直设于所述下自适应层和上自适应层之间;且所述坩埚内筒可沿所述坩埚内筒的径向在所述下自适应层和上自适应层内膨胀和收缩;以及 导向结构,所述导向结构限定所述坩埚内筒膨胀和收缩的方向,使所述坩埚内筒可沿所述坩埚内筒的径向膨胀和收缩。
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