中国科学院高能物理研究所李明获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院高能物理研究所申请的专利一种分频拼接干涉仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116718103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310561993.9,技术领域涉及:G01B9/02;该发明授权一种分频拼接干涉仪是由李明;张冬霓;刘鹏;张常睿;崔荣丽;盛伟繁;董宇辉;陶冶设计研发完成,并于2023-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分频拼接干涉仪在说明书摘要公布了:本发明公开了一种分频拼接干涉仪,其特征在于,包括一套多维位移台,一套待测镜调姿机构,一台干涉仪,两台测角装置和一数据处理单元;所述干涉仪、测角装置、待测镜调姿机构位于多维位移台上;干涉仪用于获取待测镜各子口径的面形并将其发送给数据处理单元;数据单元用于对待测镜各子口径的面形进行拼接得到镜面面形hx,y,对hx,y进行低通滤波并取滤波后面形中满足y=y1的一条线;第一台测角装置用于沿y=y1线上平动测量待测镜的低空间频率面形斜率并将其发送给数据处理单元;第二台测角装置用于对第一台测角装置的运动角度进行监测并将监测数据发送给数据处理单元;数据处理单元用于计算得到待测镜的二维面形。
本发明授权一种分频拼接干涉仪在权利要求书中公布了:1.一种分频拼接干涉仪,其特征在于,包括一套多维位移台,一套待测镜调姿机构,一台干涉仪,两台测角装置和一数据处理单元;所述干涉仪、测角装置、待测镜调姿机构位于所述多维位移台上; 所述多维位移台,用于分别控制所述干涉仪和第一台测角装置在x方向上平动,控制第二台测角装置在z方向上进行平动调节,以及控制待测镜在x-z面内进行转动;x方向为平行于待测镜的待测面形的方向,x、y、z方向互相垂直,待测镜的镜面中心法线方向为z方向,x、z方向所在平面为x-z面; 所述待测镜调姿机构,用于调节待测镜在y方向上平动、在x-y面内进行转动以及在y-z面内进行转动; 所述干涉仪,用于获取待测镜各子口径的面形并将其发送给所述数据处理单元;所述数据单元用于对待测镜各子口径的面形进行拼接得到镜面面形hx,y,按照设定的空间频率a对hx,y进行低通滤波并取滤波后面形中满足y=y1的一条线F1ax; 所述第一台测角装置,用于沿y=y1线上平动测量待测镜的低空间频率面形斜率并将其发送给所述数据处理单元; 所述第二台测角装置,用于对所述第一台测角装置的运动角度进行监测并将监测数据发送给所述数据处理单元; 所述数据处理单元根据所述监测数据去除所述第一台测角装置在测量过程中存在的运动角度误差,得到该线条F1ax对应的不含运动角度误差的面形斜率并按照设定的空间频率a对其进行低通滤波,得到滤波后的面形L1ax;然后计算面形差异δ1ax=F1ax-L1ax,将镜面面形hx,y上任意一坐标点xi,yj处的面形值hxi,yj与δ1ax上具有相同横坐标xi处的面形值δ1axi相减,得到该待测镜的二维面形hCx,y中坐标点xi,yj处的面形值hCxi,yj=hxi,yj-δ1axi。
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