罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司刘崭获国家专利权
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龙图腾网获悉罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司申请的专利用于化学机械抛光的复合垫获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116922263B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310409770.0，技术领域涉及：B24B37/24；该发明授权用于化学机械抛光的复合垫是由刘崭;邱南荣;M·E·米尔斯设计研发完成，并于2023-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于化学机械抛光的复合垫在说明书摘要公布了：一种化学机械抛光垫，其包含基本上无孔的抛光层，该抛光层包括包含聚合物基质和包埋在该聚合物基质中的聚合物颗粒的团聚物，其中这些聚合物颗粒以基于该抛光层重量5至35重量百分比的量存在，这些团聚物具有大于1μm的尺寸，这些聚合物颗粒具有比该聚合物基质的拉伸模量更高的拉伸模量。该抛光层是粘弹性的并且具有大于1000Pa‑1的GEL。用此种垫抛光金属绝缘体复合物可导致金属特征少量的碟形凹陷。
本发明授权用于化学机械抛光的复合垫在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光垫，其包含基本上无孔的抛光层，所述抛光层包含聚合物基质和包埋在所述聚合物基质中的聚合物颗粒的团聚物，其中所述聚合物颗粒以基于所述抛光层重量5至35重量百分比的量存在，所述团聚物具有大于1μm的尺寸，所述聚合物颗粒具有比所述聚合物基质的拉伸模量更高的拉伸模量，并且所述抛光层是粘弹性的，所述聚合物颗粒包括选自PTFE、PFA、FEP、PVF、ETFE、ECTFE及其组合的氟聚合物。
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