中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司张颖志获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请的专利一种可调参数的离子泵测试工装获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117212127B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311261091.X,技术领域涉及:F04B51/00;该发明授权一种可调参数的离子泵测试工装是由张颖志;袁方;王启佳;赵崇凌;叶琳琳设计研发完成,并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调参数的离子泵测试工装在说明书摘要公布了:本发明涉及极高真空领域中离子泵的测试工装,具体地说是一种可调参数的离子泵测试工装,包括主焊件、盖板、抽气单元、阴极钛板、磁轭焊件及车架组件,主焊件包含波纹管焊件、电极接管,波纹管焊件包含波纹管接头及波纹管,抽气单元包含引线支杆及阳极筒,磁轭焊件包含磁轭板、磁轭筒及磁铁,车架组件包含支撑板及车架。通过本发明的波纹管,可以方便快速地调节阴极钛板和阳极筒的间距,同时磁轭与阴极钛板间距也可调节。本发明通过更改阳极筒尺寸、阴极钛板尺寸、阳极筒与阴极钛板间距、磁铁与阴极钛板间距等结构参数,为离子泵的结构优化和性能研究提供研究手段。
本发明授权一种可调参数的离子泵测试工装在权利要求书中公布了:1.一种可调参数的离子泵测试工装,其特征在于:包括主焊件、盖板5、抽气单元、阴极钛板9、磁轭焊件及车架组件,其中主焊件包括波纹管焊件、电极接管1及泵壳2,所述泵壳2安装于车架组件上,所述电极接管1的一端固接于泵壳2上、另一端接有电极,所述泵壳2内与电极接管1对应的位置设有抽气单元,所述抽气单元包括引线支杆7及阳极筒8,所述阳极筒8安装在泵壳2内,所述引线支杆7的一端与阳极筒8连接,所述引线支杆7的另一端与电极接管1所连接的电极相连;所述电极接管1左右两侧的结构相同,每侧均设有波纹管焊件、盖板5、阴极钛板9及磁轭焊件,所述波纹管焊件包括波纹管3及波纹管接头4,所述磁轭焊件包括磁轭板11、磁轭筒12及磁铁10,所述波纹管3的一端与泵壳2相连,所述波纹管3的另一端连接有波纹管接头4,所述盖板5的一端与波纹管接头4固接,所述盖板5的另一端由波纹管3穿入后连接有与阳极筒8相对的阴极钛板9,所述波纹管接头4与泵壳2之间设有全螺纹螺栓22,所述全螺纹螺栓22由泵壳2穿过后与波纹管接头4螺纹连接,通过旋拧所述全螺纹螺栓22使波纹管3伸缩,进而调节所述阴极钛板9与阳极筒8之间的间距;所述磁轭筒12的一端伸入盖板5内、并连接有磁铁10,所述磁轭筒12的另一端与磁轭板11相连,所述磁轭板11能够相对移动地安装于车架组件上,通过移动所述磁轭板11调节磁铁10与阴极钛板9之间的间距。
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