京东方科技集团股份有限公司沈阔获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司申请的专利蒸镀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117344273B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311562259.0，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权蒸镀装置是由沈阔;刘佳宁;白珊珊;毕娜;刘浩设计研发完成，并于2023-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸镀装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种蒸镀装置。包括蒸发源、源喷嘴和导向机构。蒸发源用于蒸发蒸镀材料。源喷嘴设置在所述蒸发源喷嘴上，用于决定所述蒸镀材料的喷射方向。导向机构设置于所述源喷嘴上，用于对所述蒸镀材料的喷射方向进行导向。所述源喷嘴的喷射方向为第一方向，所述导向机构的导向方向为第二方向，所述第一方向与所述第二方向之间具有夹角。在多种材料共蒸的工序中，通过导向机构对不同蒸镀材料流向的引导，使得多种蒸镀材料在基板上所形成的厚度相接近，从而提高膜厚的均匀性。
本发明授权蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，用于将蒸镀材料蒸镀至基板上，其特征在于，包括： 蒸发源，用于蒸发蒸镀材料； 源喷嘴，设置在所述蒸发源上，用于决定所述蒸镀材料的喷射方向； 导向机构，设置在所述源喷嘴上，用于对所述蒸镀材料的喷射方向进行导向； 所述源喷嘴的喷射方向为第一方向，所述导向机构的导向方向为第二方向，其中，所述第一方向与所述第二方向之间具有夹角； 所述导向机构包括遮挡件和升降组件，所述遮挡件位于所述源喷嘴与所述基板之间，且与所述源喷嘴沿第一方向间隔设置，所述升降组件的一端与所述源喷嘴连接，另一端与所述遮挡件连接，所述升降组件能够带动所述遮挡件在所述第一方向上进行位移，以动态调整对蒸镀材料的遮挡范围。
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