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龙图腾网获悉江阴纳力新材料科技有限公司申请的专利一种磁场检测装置及真空镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117364048B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311420779.8，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种磁场检测装置及真空镀膜设备是由陈伟;张微微;王小玉;李学法;张国平设计研发完成，并于2023-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁场检测装置及真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明涉及真空镀膜设备技术领域，公开一种磁场检测装置及真空镀膜设备。磁场检测装置用于检测靶管内的旋转阴极的磁场强度。第一支撑座和第二支撑座间隔安装于靶管外壁，第一支撑座靠近第二支撑座的一侧设置有第一弧形滑道，第二支撑座靠近第一支撑座的一侧设置有第二弧形滑道；支撑调节组件包括驱动座、从动座和调节轴，驱动座和从动座均呈弧形，驱动座滑动连接于第一弧形滑道，从动座滑动连接于第二弧形滑道，调节轴一端连接于驱动座，另一端连接于从动座；固定组件滑动连接于调节轴上，固定组件用于安装探头；驱动组件安装于第一支撑座上，驱动组件驱动连接驱动座，驱动组件用于驱动支撑调节组件的两端分别沿第一弧形滑道和第二弧形滑道滑动。

本发明授权一种磁场检测装置及真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种磁场检测装置，用于检测靶管20内的旋转阴极30的磁场强度，其特征在于，所述磁场检测装置包括： 间隔安装于所述靶管20外壁的第一支撑座1和第二支撑座2，所述第一支撑座1靠近所述第二支撑座2的一侧设置有第一弧形滑道，所述第二支撑座2靠近所述第一支撑座1的一侧设置有第二弧形滑道； 支撑调节组件3，其包括驱动座31、从动座32和调节轴33，所述驱动座31和所述从动座32均呈弧形，所述驱动座31滑动连接于所述第一弧形滑道，所述从动座32滑动连接于所述第二弧形滑道，所述调节轴33一端连接于所述驱动座31，另一端连接于所述从动座32； 固定组件4，其滑动连接于所述调节轴33上，所述固定组件4用于安装探头10； 驱动组件5，其安装于所述第一支撑座1上，所述驱动组件5驱动连接于所述驱动座31，所述驱动组件5用于驱动所述支撑调节组件3的两端分别沿所述第一弧形滑道和所述第二弧形滑道滑动； 所述驱动座31为弧形齿条，所述驱动组件5包括手轮51、驱动轴53和齿轮52，所述第一支撑座1设置有第一连接孔，所述手轮51设置于所述驱动轴53的第一端，所述驱动轴53转动连接于所述第一连接孔，且所述驱动轴53的第二端伸出所述第一连接孔，所述驱动轴53的第二端安装有所述齿轮52，所述齿轮52啮合连接于所述弧形齿条； 所述固定组件4包括固定块41、锁紧块42、固定柱43和顶丝44，所述固定块41设置有第二连接孔，所述第二连接孔设置有平面，所述第二连接孔的侧壁设置有第一螺纹孔，所述调节轴33穿设于所述第二连接孔，顶丝44螺纹连接于所述第一螺纹孔且端部抵接于所述平面； 所述锁紧块42设置有第一凹槽，所述固定块41设置有第二凹槽，所述锁紧块42可拆卸连接于所述固定块41，所述第一凹槽和所述第二凹槽拼接成固定孔46，所述固定柱43连接于所述固定孔46内，所述固定柱43朝向所述靶管20的一端连接所述探头10，所述固定柱43的延伸方向朝向所述靶管20的轴线； 所述固定组件4还包括锁紧螺钉45，所述锁紧块42设置有两个通孔，两个所述通孔位于所述第一凹槽的两侧，所述固定块41设置有两个第二螺纹孔，两个所述第二螺纹孔与两个所述通孔一一对应，所述锁紧螺钉45穿设于所述通孔并螺纹连接于所述第二螺纹孔；通过拧松所述锁紧螺钉45，所述固定柱43能够相对所述固定孔46滑动，进而实现了所述探头10沿所述靶管20径向的位置调节，保证所述探头10能到达所述旋转阴极30表面及上方任意点，测量出整个所述旋转阴极30表面以上空间的磁场场强。

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