北京创思工贸有限公司李文强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京创思工贸有限公司申请的专利碳化硅零件加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117506566B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311433916.1,技术领域涉及:B24B1/00;该发明授权碳化硅零件加工方法是由李文强;冯志涛;武锐;杨子玄;吕鑫;冯志新设计研发完成,并于2023-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅零件加工方法在说明书摘要公布了:本发明涉及零件加工技术领域,提供一种碳化硅零件加工方法,包括:控制低抛装置对碳化硅零件的第一表面进行低抛处理,对碳化硅进行低抛处理时,向碳化硅零件的通气孔通入压缩空气,直至第一表面的面形达到低抛设定值。本发明有利于消除碳化硅零件因上下盘时应力引入造成面形的影响,并且避免了水和辅料对碳化硅零件的面形的影响,确保了对碳化硅零件的抛光质量。
本发明授权碳化硅零件加工方法在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅零件加工方法,其特征在于,包括: 控制低抛装置对碳化硅零件的第一表面进行低抛处理,对碳化硅进行低抛处理时,向碳化硅零件的通气孔通入压缩空气,直至所述第一表面的面形达到低抛设定值; 所述碳化硅零件低抛装置包括:抛光转盘、工装卡具和吹气组件; 所述碳化硅零件具有第一表面和第二表面,所述第一表面和所述第二表面相对设置,所述第二表面的中心设有通气孔; 所述抛光转盘具有抛光面,所述抛光面用于承托于所述碳化硅零件的第一表面,以对所述第一表面进行抛光处理; 至少部分所述工装卡具沿所述碳化硅零件的周向设置,以将所述碳化硅零件限定于所述抛光转盘上的设定位置; 所述吹气组件用于与所述通气孔连通,以向所述通气孔内通入压缩空气; 所述第一表面上分布有多个微孔,所述通气孔和多个所述微孔连通; 所述吹气组件将压缩空气从所述第二表面上的所述通气孔通入,基于所述通气孔和所述微孔的连通性,压缩空气将抛光过程中使用的水和辅料从所述第一表面上的多个所述微孔吹出。
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