中国科学院空天信息创新研究院邹旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利一种微机械嵌套环形陀螺仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119164379B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411303073.8,技术领域涉及:G01C19/5684;该发明授权一种微机械嵌套环形陀螺仪是由邹旭东;翟朝阳;马良博设计研发完成,并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微机械嵌套环形陀螺仪在说明书摘要公布了:本申请公开了一种微机械嵌套环形陀螺仪,包括衬底和设置在所述衬底上的支撑结构、嵌套环形谐振器和多个电极。支撑结构包括锚点和柔性支撑部件,锚点与衬底连接,柔性支撑部件与锚点连接,并用于对嵌套环形谐振器实现支撑。由于采用了具有柔性支撑部件的支撑结构,因此能够减小由温度变化导致的应力的传导。通过调整结构参数,对陀螺仪工作模态的谐振频率进行了优化,降低了陀螺仪的振动灵敏度。从而能够解决微机械陀螺仪工作在恶劣环境时性能下降的问题。
本发明授权一种微机械嵌套环形陀螺仪在权利要求书中公布了:1.一种微机械嵌套环形陀螺仪,其特征在于,包括衬底和设置在所述衬底上的支撑结构、嵌套环形谐振器和多个电极,其中: 所述支撑结构包括锚点和柔性支撑部件,所述锚点与所述衬底连接,所述柔性支撑部件与所述锚点连接,并用于对所述嵌套环形谐振器实现支撑,所述嵌套环形谐振器包括同心布置的多个环形谐振结构,任意两个所述环形谐振结构之间设置有多个辐条结构,所述微机械嵌套环形陀螺仪的工作模态为一组简并的三阶酒杯模态,所述工作模态具有最低的谐振频率,且面内平动模态和面外筒形模态的谐振频率均高于所述工作模态的谐振频率。
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