航天科工防御技术研究试验中心尉洁获国家专利权
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龙图腾网获悉航天科工防御技术研究试验中心申请的专利一种MEMS加速度计寿命评估方法、装置及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119510812B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411443263.X,技术领域涉及:G01P21/00;该发明授权一种MEMS加速度计寿命评估方法、装置及设备是由尉洁;冯慧;王坦设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS加速度计寿命评估方法、装置及设备在说明书摘要公布了:本说明书提供了一种MEMS加速度计寿命评估方法、装置及设备,涉及MEMS加速度计领域。该方法通过对核心应力进行步进施加,监测各个性能参数,得到核心应力极限范围;在核心应力极限范围内,构建核心应力组合试验方案,对MEMS加速度计进行恒加速寿命试验;根据恒加速寿命试验数据及性能参数退化模型分析性能参数退化量,得到不同应力水平下多个性能参数的伪寿命估计值;基于不同应力水平下多个性能参数的伪寿命估计值,根据MEMS加速度计核心应力,建立MEMS加速度计与温度、冲击、电应力和工作时间之间的多应力加速寿命评价模型。解决了现有MEMS加速度计寿命评估通常基于单一应力单一失效模式的加速寿命试验进行考核,无法对可靠性寿命进行准确评估的问题。
本发明授权一种MEMS加速度计寿命评估方法、装置及设备在权利要求书中公布了:1.一种MEMS加速度计寿命评估方法,其特征在于,包括: 根据应用环境和工作条件,对核心应力进行步进施加,监测各个性能参数,确定主要故障模式和薄弱环节,得到核心应力极限范围;其中所述性能参数包括零偏、标度因子、非线性、频响; 在核心应力极限范围内,构建核心应力组合试验方案,并根据给定的可靠度和置信度,确定恒定加速寿命的试验样本数和失效数,并对MEMS加速度计进行恒加速寿命试验; 根据恒加速寿命试验数据,得到性能参数随时间的变化规律,并根据性能参数退化模型分析性能参数退化量,得到不同应力水平下多个MEMS加速度计的性能参数的伪寿命估计值; 基于所述不同应力水平下多个MEMS加速度计的性能参数的伪寿命估计值,根据MEMS加速度计核心应力,建立MEMS加速度计与温度、冲击、电应力和工作时间之间的多应力加速寿命评价模型。
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