株式会社荏原制作所高桥直人获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利镀覆装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119522300B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202480003285.6，技术领域涉及：C25D19/00；该发明授权镀覆装置以及基板处理方法是由高桥直人设计研发完成，并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提高基板支架的清洗度的检测精度。镀覆装置包括：镀覆槽，其构成为收容镀覆液；基板支架440，其具有用于向基板供电的接触部件494‑4、和配置于接触部件494‑4的附近的电极部件494‑6；清洗部件，其具有构成为对基板支架440的配置有接触部件494‑4的内部区域排出清洗液的清洗喷嘴472a；电源495，其构成为在接触部件494‑4与电极部件494‑6之间施加电压；电流计496，其构成为对在接触部件494‑4与电极部件494‑6之间流动的电流进行测量；以及控制部499，其使检测器497动作，该检测器497构成为基于在使用清洗部件清洗基板支架440的内部区域时由电流计496测量出的电流，对基板支架440的内部区域的清洗度进行检测。
本发明授权镀覆装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种镀覆装置，其特征在于，包括： 镀覆槽，所述镀覆槽构成为收容镀覆液； 基板支架，所述基板支架构成为保持使被镀覆面朝向下方的基板，所述基板支架具有用于向基板供电的接触部件、和配置于所述接触部件的附近的电极部件； 清洗部件，所述清洗部件具有清洗喷嘴，所述清洗喷嘴构成为对所述基板支架的配置有所述接触部件的内部区域排出清洗液； 电源，所述电源构成为在所述接触部件与所述电极部件之间施加电压； 电流计，所述电流计构成为对在所述接触部件与所述电极部件之间流动的电流进行测量； 控制部，所述控制部使检测器动作，所述检测器构成为基于在使用所述清洗部件清洗所述基板支架的内部区域时由所述电流计测量出的电流，对所述基板支架的内部区域的清洗度进行检测；以及 中继部件，所述中继部件构成为使从所述电源向所述接触部件和所述电极部件供给的电压的正负反转。
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