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龙图腾网获悉武汉精立电子技术有限公司;武汉加特林光学仪器有限公司申请的专利一种高光谱测量与3D测量的晶圆检测装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119581350B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311135641.3，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权一种高光谱测量与3D测量的晶圆检测装置和方法是由洪志坤设计研发完成，并于2023-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高光谱测量与3D测量的晶圆检测装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高光谱测量与3D测量的晶圆检测装置和方法，包括：移动载台，用于承载待测样品；沿第一光路依次设置的光源模块、第一狭缝、管镜；管镜包括安装于其内部的分光模块和安装于其远离光源模块一侧的物镜模块，物镜模块包括具有轴向色散的第一物镜和不具有轴向色散的第二物镜，还包括用于切换第一物镜和第二物镜的物镜切换模块；还包括沿第二光路依次设置的管镜、第二狭缝和光谱成像系统。本发明基于无限远显微成像系统的特性，将3D测量模块，和高光谱测量模块的差异部分作为切换模块，其他共同部分设计成一个整体，减小了体积，使得系统更简洁，重量更低，且检测效率更高，并且极大的节省了成本。

本发明授权一种高光谱测量与3D测量的晶圆检测装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种高光谱测量与3D测量的晶圆检测装置，其特征在于，包括： 移动载台6，用于承载待测样品7； 沿第一光路依次设置的光源模块1、第一狭缝31、管镜5；所述管镜5包括安装于其内部的分光模块4和安装于其远离所述光源模块1一侧的物镜模块，所述物镜模块包括具有轴向色散的第一物镜81和不具有轴向色散的第二物镜82，还包括用于切换所述第一物镜81和所述第二物镜82的物镜切换模块；还包括沿第二光路依次设置的管镜5、第二狭缝32和光谱成像系统2；所述分光模块4用于分离所述第一光路和所述第二光路； 所述光源模块1用于发出复色光，沿所述第一光路，经所述第一狭缝31和所述管镜5后，经所述第一物镜81聚焦并垂直照射在所述待测样品7的表面；所述第一物镜81还用于收集所述待测样品7表面反射的所述复色光，沿所述第二光路，经所述管镜5、所述第二狭缝32后进入所述光谱成像系统2，对所述待测样品7表面进行3D测量； 在所述待测样品7表面高度测量完成后，所述物镜切换为所述第二物镜82，所述光谱成像系统2接收沿所述第二光路传来的所述待测样品7的成像光，对所述待测样品7表面进行高光谱测量； 还包括控制模块，用于控制所述移动载台6按照指定路径移动，使得所述光谱成像系统2对所述待测样品7表面不同处进行3D测量，实现所述待测样品2表面全面的3D测量； 或，在所述待测样品7平整时，使所述光谱成像系统2对所述待测样品7表面间隔一定距离处进行3D测量，实现所述待测样品2表面采样式3D测量。

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