买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利OPC模型的修正方法、制作光掩模版的方法及光刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119738997B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510094525.4，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权OPC模型的修正方法、制作光掩模版的方法及光刻方法是由黄冠宏;陈咏翔;曾鼎程;范富杰;胡展源设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本OPC模型的修正方法、制作光掩模版的方法及光刻方法在说明书摘要公布了：本发明提供OPC模型的修正方法、制作光掩模版的方法及光刻方法，OPC模型的修正方法先建立初始OPC模型；修正初始OPC模型以获得修正后的OPC模型，并对修正后的OPC模型进行收敛度检查直至修正后的OPC模型收敛再进入下一步骤。本发明在修正所述初始OPC模型的步骤中根据修正后的OPC模型的收敛度调整修正次数，达成在不影响OPC模型修正准确度的情况下减少运行时间的效果，也即每一种客户版图文件对应不同的OPC模型修正次数，当OPC模型的修正次数小于标准文件中的修正次数时，无需修正多余的次数，当OPC模型的修正次数大于标准文件中的修正次数时，避免了在修正次数不够，OPC模型没有修正到位的情况下浪费时间跑OPCV的问题。

本发明授权OPC模型的修正方法、制作光掩模版的方法及光刻方法在权利要求书中公布了：1.一种OPC模型的修正方法，其特征在于，包括： 建立初始OPC模型； 修正所述初始OPC模型以获得修正后的OPC模型，并对所述修正后的OPC模型进行收敛度检查直至所述修正后的OPC模型收敛再进入下一步骤，其中，所述初始OPC模型的修正次数根据所述修正后的OPC模型的收敛度检查结果而调整； 对所述修正后的OPC模型验证，检验所述修正后的所述OPC模型的准确性，若符合标准则以所述修正后的所述OPC模型制作光掩膜版； 其中，修正所述初始OPC模型以获得修正后的OPC模型的方法包括：步骤S21：对所述初始OPC模型执行第一修正步骤并检查第一修正步骤后的OPC模型的收敛度，若所述第一修正步骤后的OPC模型收敛，则结束对所述初始OPC模型的修正，若所述第一修正步骤后的OPC模型未收敛，则标记第一未收敛区域，并执行步骤S22； 步骤S22：对所述第一修正步骤后的OPC模型的所述第一未收敛区域执行第二修正步骤并检查第二修正步骤后的OPC模型的收敛度，若所述第二修正步骤后的OPC模型收敛，则结束对所述第一修正步骤后的OPC模型的修正，若所述第二修正步骤后的OPC模型未收敛，则标记第二未收敛区域，并执行步骤S23； 步骤S23：对所述第二修正步骤后的OPC模型的所述第二未收敛区域执行第三修正步骤并检查第三修正步骤后的OPC模型的收敛度，若所述第三修正步骤后的OPC模型收敛，则结束对所述第二修正步骤后的OPC模型的修正，若所述第三修正步骤后的OPC模型未收敛，则继续标记第三未收敛区域，继续修正所述第三修正步骤后的OPC模型直至OPC模型收敛； 所述第一修正步骤中的修正次数、所述第二修正步骤中的修正次数和所述第三修正步骤中的修正次数依次递减。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。