广东国创科光电装备有限公司刘伟获国家专利权
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龙图腾网获悉广东国创科光电装备有限公司申请的专利一种涉及基板工作区的气浮装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119750218B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411934555.3，技术领域涉及：B65G49/06；该发明授权一种涉及基板工作区的气浮装置是由刘伟;蔡婵;唐伟;付宇设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涉及基板工作区的气浮装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种涉及基板工作区的气浮装置，气浮装置包括正压出气口、负压进气口、正压节流结构、负压节流结构、正压配气道以及负压配气道；其中，正压出气口和负压进气口间隔点阵分布在气浮平台上；正压出气口与正压节流结构的出气段相连，正压节流结构的进气段与正压配气道相连，且正压出气口与正压配气道不在同一平面上；负压出气口与负压节流结构的进气段相连，负压节流结构的出气段与负压配气道相连。本申请中气浮装置结构简单，且成本较低。
本发明授权一种涉及基板工作区的气浮装置在权利要求书中公布了：1.一种涉及基板工作区的气浮装置，其特征在于，所述气浮装置包括正压出气口、负压进气口、正压节流结构、负压节流结构、正压配气道以及负压配气道；其中， 所述正压出气口和所述负压进气口间隔点阵分布在气浮平台上； 所述正压出气口与所述正压节流结构的出气段相连，所述正压节流结构的进气段与所述正压配气道相连，且所述正压出气口与所述正压配气道不在同一平面上；所述负压进气口与所述负压节流结构的进气段相连，所述负压节流结构的出气段与所述负压配气道相连； 所述正压节流结构包括出气段、进气段和正压中间结构，所述负压节流结构包括出气段、进气段以及负压中间结构；其中，所述正压节流结构和所述负压节流结构，两者的出气段和进气段均为直线型结构；所述正压中间结构和所述负压中间结构包括一个或多个直线型结构和一个或多个曲线型结构。
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