北京无线电计量测试研究所王亮获国家专利权
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龙图腾网获悉北京无线电计量测试研究所申请的专利一种原子气室制备设备、方法以及原子气室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119822317B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411910989.X，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权一种原子气室制备设备、方法以及原子气室是由王亮设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子气室制备设备、方法以及原子气室在说明书摘要公布了：本发明涉及原子气室制备技术领域，公开一种原子气室制备设备、方法以及原子气室。设备包括真空箱、晶圆键合机和碱金属注入装置，碱金属注入装置包括真空泵、注入阀体、加热件、真空撞针和真空探针排，碱金属的注入以及键合过程均在真空环境下进行，能有效避免大气环境中的氧气使得碱金属氧化影响原子气室质量，同时避免外界颗粒物沾染在气室构件和气室封板之间影响键合效果和密封性，能有效降低原子气室的漏率，即通过该原子气室制备设备制得的原子气室良率较高，制备效率也较高。
本发明授权一种原子气室制备设备、方法以及原子气室在权利要求书中公布了：1.一种原子气室制备设备，制得的原子气室包括气室封板和气室构件，所述气室构件的一面具有多个间隔设置的容纳槽，所述气室封板封闭在所述气室构件具有所述容纳槽的一面，其特征在于，所述原子气室制备设备包括真空箱、晶圆键合机和碱金属注入装置，所述真空箱内真空度可调，所述碱金属注入装置包括真空泵、注入阀体、加热件、真空撞针和真空探针排； 所述注入阀体设置在所述真空箱外，所述注入阀体内具有放置腔，所述放置腔内用于放置内盛有碱金属的玻璃泡，所述注入阀体具有与所述放置腔连通的抽真空口和注入口，所述真空泵与所述抽真空口连通； 所述真空探针排设置在所述真空箱内，并与所述注入口连通或不连通； 所述真空撞针活动设置在所述放置腔内，用于撞破所述玻璃泡； 所述加热件贴设在所述注入阀体外，用于产生热量使得所述碱金属液化，所述真空探针与所述注入口连通时，液化后的所述碱金属经由所述注入口和所述真空探针排注入每个所述容纳槽中； 所述晶圆键合机设置在所述真空箱内，用于对所述气室封板和所述气室构件键合。
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