武汉百臻半导体科技有限公司王青松获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉百臻半导体科技有限公司申请的专利一种用于多种类晶圆产品测试的机械手臂及晶圆清洗工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120674377B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510823203.9，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种用于多种类晶圆产品测试的机械手臂及晶圆清洗工艺是由王青松;肖真方设计研发完成，并于2025-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于多种类晶圆产品测试的机械手臂及晶圆清洗工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆制备技术领域，提出了一种用于多种类晶圆产品测试的机械手臂及晶圆清洗工艺，包括侧部夹爪、中间夹爪、第一动力件和第二动力件，其中，侧部夹爪设置有两个，且侧部夹爪具有弹性夹持部和刚性夹持部；中间夹爪设置在两个侧部夹爪之间，中间夹爪具有刚性夹持部；第一动力件用于调节两个侧部夹爪的Y轴间距，并同步调节侧部夹爪与中间夹爪的X轴间距；第二动力件用于带动侧部夹爪以Z轴为轴线进行旋转。本发明通过设置第一动力件，其可调整两个侧部夹爪的间距，如此可适应不同大小规格晶圆的夹取工作，且能够将晶圆从堆叠容器中取出，应用十分便利；同时方便调整侧部夹爪的夹持方向，进一步的提高了应用的便利性。
本发明授权一种用于多种类晶圆产品测试的机械手臂及晶圆清洗工艺在权利要求书中公布了：1.一种用于多种类晶圆产品测试的机械手臂，其特征在于：包括侧部夹爪1、中间夹爪2、第一动力件3、第二动力件4和第三动力件6，其中， 所述侧部夹爪1设置有两个，且所述侧部夹爪1具有弹性夹持部和刚性夹持部，所述侧部夹爪1设置有两个夹头15，两个所述夹头15可开合，所述夹头15为所述刚性夹持部； 所述中间夹爪2设置在两个所述侧部夹爪1之间，所述中间夹爪2与所述侧部夹爪1结构相同，所述中间夹爪2具有刚性夹持部，且所述中间夹爪2不设置弹性夹持部； 所述第一动力件3用于调节两个所述侧部夹爪1的Y轴间距，并同步调节所述侧部夹爪1与所述中间夹爪2的X轴间距； 所述第二动力件4用于带动所述侧部夹爪1以Z轴为轴线进行旋转； 所述第三动力件6用于喷淋清洗晶圆，或用于调节所述两个所述侧部夹爪1的Y轴间距，并同步调节所述侧部夹爪1与所述中间夹爪2的X轴间距。
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