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中国科学院国家空间科学中心蒋思诚获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院国家空间科学中心申请的专利一种适用于月表原位探测的全静电小型化扫描电镜透镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120933141B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511024142.6,技术领域涉及:H01J37/12;该发明授权一种适用于月表原位探测的全静电小型化扫描电镜透镜是由蒋思诚;张爱兵设计研发完成,并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种适用于月表原位探测的全静电小型化扫描电镜透镜在说明书摘要公布了:本发明公开了一种适用于月表原位探测的全静电小型化扫描电镜透镜,属于月球探测技术领域。包括:沿轴顺序固定的电子枪、聚光镜模组、微通道板探测器和物镜系统。透镜采用全静电系统,并在聚光镜模组和物镜系统上设置有通孔,以引入月表天然真空环境。所述聚光镜模组中创新设计多功能电极结构,使聚光镜兼具光阑功能;所述物镜系统内集成了可同步实现扫描偏转与消像散的静电偏转器。本发明通过全静电设计、月表真空引入结构及功能集成化、紧凑化设计,有效克服了传统电磁透镜的漏磁与热损耗,降低了对复杂真空设备的依赖,提升了系统集成度,并满足了月表探测载荷在小型化、轻量化方面的要求,同时提升系统在发射振动和月震环境下的结构可靠性。

本发明授权一种适用于月表原位探测的全静电小型化扫描电镜透镜在权利要求书中公布了:1.一种适用于月表原位探测的全静电小型化扫描电镜透镜,其特征在于,包括通过支撑组件沿轴顺序固定的电子枪、聚光镜模组、微通道板探测器和物镜系统; 所述的聚光镜模组,由上至下包括第一组聚光镜和第二组聚光镜,所述的聚光镜模组的腔体侧壁设置有开放式通孔阵列,允许月表真空环境通过毛细作用进入腔体; 所述的第一组聚光镜,由上至下包括第一组上游电极、第一组中间电极和第一组下游电极,其中第一组上游电极和第一组下游电极均接地,用于对入射电子束的整形约束;第一组中间电极是包括左电极、绝缘层、右电极,左电极和右电极通过绝缘层绝缘设置,且其圆心位置设置有通孔,且该通孔在圆柱下表面上延伸有一体形成的凸起电极,用于调对电子束进行减速与聚焦; 所述的第二组聚光镜,所述的第二组聚光镜位于第一组聚光镜下游,由上至下包括第二组上游电极、第二组中间电极和第二组下游电极,所述的第二组下游电极下表面延伸有法拉第杯状结构,用于测量电子束束流参数,所述的法拉第杯状结构的底部圆心处设置有通孔; 所述的物镜系统,由上至下包括同轴固定的第一电极、绝缘支架、第二电极和第三电极, 所述的第一电极固定于支撑组件的下端,所述的绝缘支架通过旋转锁止机构装配于第一电极下方; 所述绝缘支架的下端向内形成凸缘,所述的第二电极上端向外形成凸缘,所述的绝缘支架和第二电极通过两个凸缘相互卡合装配; 所述的第三电极的台阶面和所述的第三电极的延长部形成一腔体,用于容纳静电偏转器;所述的第三电极的延长部上有通孔,用于引入月表高真空环境; 所述的静电偏转器,所述的静电偏转器包括若干电极,位于第三电极台阶面和第三电极延长部构成的腔体内;所述电极通过嵌入方式固定在环状柱体内;所述的环状柱体同轴固定在第三电极中心孔内,用于同步实现扫描偏转与消像散功能。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院国家空间科学中心,其通讯地址为:100190 北京市海淀区中关村南二条1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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