柯尔微电子装备(厦门)有限公司胡俊林获国家专利权
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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利一种用于将晶圆磨砂膜透明化的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120955026B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511023548.2，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权一种用于将晶圆磨砂膜透明化的装置和方法是由胡俊林;郑隆结;孙会民设计研发完成，并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于将晶圆磨砂膜透明化的装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于将晶圆磨砂膜透明化的装置，包括模组底板，其上设置有安装孔；玻璃板，安装于安装孔，在模组底板形成水槽；放料机构，包括设置于模组底板两侧的第一放料单元和第二放料单元，第一放料单元和第二放料单元独立工作以驱动晶圆的不同侧边相对于水槽沿竖直方向做升降运动；模组底板上设置有负压抽吸组件，负压抽吸组件与水槽连通；晶圆铁圈水平放置于放料机构，放料机构通过分侧驱动控制，以使得蓝膜沿横向方向渐进贴合液面，蓝膜完全贴合液面后，负压抽吸组件抽出水槽中的液体，以在蓝膜与玻璃板之间形成均匀水膜。本申请解决了蓝膜下垂导致晶圆表面超出显微镜景深的问题，产品无需翻面，简化设备流程，提高作业效率和良率。
本发明授权一种用于将晶圆磨砂膜透明化的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于将晶圆磨砂膜透明化的装置，其特征在于，包括： 模组底板，其上设置有安装孔； 玻璃板，安装于所述安装孔，并在所述模组底板形成用于容纳液体的水槽； 放料机构，包括设置于所述模组底板两侧的第一放料单元和第二放料单元，所述第一放料单元和所述第二放料单元独立工作以驱动所述晶圆的不同侧边相对于所述水槽沿竖直方向做升降运动； 所述模组底板上设置有负压抽吸组件，所述负压抽吸组件与所述水槽连通； 所述晶圆的铁圈水平放置于所述放料机构，所述放料机构通过分侧驱动控制，以使得蓝膜沿横向方向渐进贴合液面，所述蓝膜完全贴合液面后，所述负压抽吸组件抽出所述水槽中的液体，以在所述蓝膜与所述玻璃板之间形成均匀水膜。
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