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南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院张航瑛获国家专利权

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龙图腾网获悉南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院申请的专利一种高纵横比微纳结构测量的宽谱干涉暗弱信号增强方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121009263B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511525781.0,技术领域涉及:G06F17/14;该发明授权一种高纵横比微纳结构测量的宽谱干涉暗弱信号增强方法是由张航瑛;王博禹;孟凯;楼佩煌;钱晓明;武星设计研发完成,并于2025-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高纵横比微纳结构测量的宽谱干涉暗弱信号增强方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种高纵横比微纳结构测量的宽谱干涉暗弱信号增强方法,涉及半导体测量技术领域。所述方法包括:获取宽谱干涉图,进行两层二维离散小波变换,得到第一阶段小波系数组;对小波系数进行非线性增强,输出非线性增强的宽谱干涉图;对非线性增强后的宽谱干涉图进行三层二维离散小波变换,得到第二阶段小波系数组,并计算贝叶斯阈值;设置邻域滑窗函数结合贝叶斯阈值对第二阶段小波系数进行局部去噪增强;对局部去噪增强后的第二阶段小波系数进行重构,得到局部去噪增强后的宽谱干涉图;根据局部去噪增强后的宽谱干涉图采用改进重心法确定光程位置,并计算待测样本深度值。本发明方法增强了条纹对比度和抑制了噪声,同时提高了深度测量能力。

本发明授权一种高纵横比微纳结构测量的宽谱干涉暗弱信号增强方法在权利要求书中公布了:1.一种高纵横比微纳结构测量的宽谱干涉暗弱信号增强方法,其特征在于,包括: 步骤1,获取待测样本的宽谱干涉图,进行两层二维离散小波变换,得到第一阶段小波系数组; 步骤2,根据所述第一阶段小波系数组和图像信息熵确定自适应阈值,对所述小波系数进行非线性增强,输出非线性增强的所述宽谱干涉图; 步骤3,对非线性增强后的所述宽谱干涉图进行三层二维离散小波变换,得到第二阶段小波系数组,并计算贝叶斯阈值; 步骤4,设置邻域滑窗函数结合所述贝叶斯阈值对所述第二阶段小波系数组进行局部去噪增强; 步骤5,对局部去噪增强后的所述第二阶段小波系数组进行重构,得到局部去噪增强后的所述宽谱干涉图; 步骤6,根据局部去噪增强后的所述宽谱干涉图采用改进重心法确定光程位置,并计算待测样本深度值; 其中,所述步骤2,包括: 根据所述第一阶段小波系数构建小波特征向量,表达式为: ; 式中,为一维小波特征向量;为第一阶段小波系数的第一层细节子带;为第一阶段小波系数的第二层细节子带; 计算自适应阈值因子,表达式为: ; 式中,p为自适应阈值因子;为宽谱干涉图的图像信息熵: ; 式中,为图像像素灰度;为灰度值在图像中出现的频率; 根据所述小波特征向量和所述自适应阈值比例因子计算自适应阈值,表达式为: ; 式中,为自适应阈值;为一维小波特征向量;p为自适应阈值因子;为分位数函数,返回p的分位数; 对第一阶段小波系数c进行非线性增强,表达式为: ; 式中,为增强后的第一阶段小波系数;c为第一阶段小波系数;为自适应阈值; 根据增强后的所述第一阶段小波系数c,计算得到非线性增强的所述宽谱干涉图。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院,其通讯地址为:210016 江苏省南京市秦淮区御道街29号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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