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龙图腾网获悉上海路博减振科技股份有限公司申请的专利一种气浮隔振器的自动调高方法、装置及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121025100B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511210239.6，技术领域涉及：F16F15/023；该发明授权一种气浮隔振器的自动调高方法、装置及存储介质是由张天林;诸龙;黄殿凯;修晟;刘芝岳;史毛毛;陆滕钰设计研发完成，并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气浮隔振器的自动调高方法、装置及存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造的技术领域，公开一种气浮隔振器的自动调高方法、装置及存储介质，方法包括：获取气浮平台的目标姿态数据，基于传感器采集获得气浮平台的当前姿态数据；根据目标姿态数据分解出多个目标高度数据，根据当前姿态数据分解出多个当前高度数据；其中，每个目标高度数据与每个当前高度数据一一对应，并一一对应于气浮平台的气浮隔振器；遍历每个气浮隔振器，计算当前高度数据和目标高度数据之间的高度差值数据；若高度差值数据大于预设的参考差值数据，则根据高度差值数据使用PID算法计算出当前气浮隔振器的内压调节值；根据内压调节值调节当前气浮隔振器的内压。本方法可实现自动调高，提升气浮平台调高的及时性和准确性。

本发明授权一种气浮隔振器的自动调高方法、装置及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种气浮隔振器的自动调高方法，其特征在于，包括如下步骤： 获取气浮平台的目标姿态数据，基于传感器采集获得所述气浮平台的当前姿态数据； 根据所述目标姿态数据分解出多个目标高度数据，根据所述当前姿态数据分解出多个当前高度数据；其中，每个所述目标高度数据与每个所述当前高度数据一一对应，并一一对应于所述气浮平台的气浮隔振器2； 遍历每个所述气浮隔振器2，计算所述当前高度数据和所述目标高度数据之间的高度差值数据； 若所述高度差值数据大于预设的参考差值数据，则根据所述高度差值数据使用PID算法计算出当前所述气浮隔振器2的内压调节值； 根据所述内压调节值调节所述当前所述气浮隔振器2的内压； 根据所述内压调节值和预设的修正系数计算出修正调节值； 根据所述修正调节值调节所述当前所述气浮隔振器2的内压； 若所述气浮隔振器2的数量发生变化，则计算所述气浮隔振器2的变化数量； 根据所述变化数量调节所述修正系数，调节规则如下： 初始修正系数为1.0，当变化数量为正值即数量增多：新修正系数=当前修正系数×[初始数量初始数量+变化数量]；当变化数量为负值即数量减少：新修正系数=当前修正系数×[初始数量初始数量+变化数量]； 监测设定时间段内的内压调节值的波动情况，根据所述变化数量调节所述设定时间段的时长，调节规则如下：新设定时间段=初始设定时间段+变化数量绝对值×调节系数。

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