江苏道达智能科技有限公司严翔获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏道达智能科技有限公司申请的专利一种基于PreCheck的优化校验方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121052623B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511613409.5,技术领域涉及:G06Q10/0631;该发明授权一种基于PreCheck的优化校验方法、装置、设备及介质是由严翔;辛琳;沈晓设计研发完成,并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于PreCheck的优化校验方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于PreCheck的优化校验方法、装置、设备及介质,涉及数据处理技术领域,包括以下步骤:获取派工请求信息,并根据派工请求信息确定目标设备与对应的待校验晶圆批次,得到批次待校验集;对批次待校验集进行配方校验,并基于配方校验结果将待校验晶圆批次进行配方状态绑定,得到批次校验状态集;基于批次校验状态集,采用聚类算法对批次待校验集进行异常状态分离,得到批次异常校验集;对批次异常校验集进行补偿调度,得到若干个补偿批次;采用预设的插队算法将若干个补偿批次动态插入至预设的派工队列中,得到最优的派工执行序列,解决了在晶圆制造中批次异常状态对全局派工计划产生扰动的问题。
本发明授权一种基于PreCheck的优化校验方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了:1.一种基于PreCheck的优化校验方法,其特征在于,包括以下步骤: 获取派工请求信息,并根据派工请求信息确定目标设备与对应的待校验晶圆批次,得到批次待校验集; 对批次待校验集进行配方校验,并基于配方校验结果将待校验晶圆批次进行配方状态绑定,得到批次校验状态集; 基于批次校验状态集,采用聚类算法对批次待校验集进行异常状态分离,得到批次异常校验集; 对批次异常校验集进行补偿调度,得到若干个补偿批次,具体为: 基于批次异常校验集,识别每个异常状态批次在预设的派工时序中引发的工艺冲突域;在每个异常状态批次的工艺冲突域的预设时间邻域内,搜寻目标设备空闲窗口,得到若干个候选补偿窗口;在候选补偿窗口内,将异常状态批次插入至预设的派工时序中并计算目标设备的负载波动包络;对目标设备的负载波动包络进行幅值变化,并根据分析结果对候选补偿窗口进行修正,得到若干个修正后的候选补偿窗口;在若干个修正后的候选补偿窗口内重新配置异常状态批次的配方参数,得到若干个补偿批次; 基于批次异常校验集,识别每个异常状态批次在预设的派工时序中引发的工艺冲突域,具体为: 基于批次异常校验集,采用时间滑动窗口算法计算目标设备的冲突密度曲线;获取每个异常状态批次在预设的派工时序中的配方参数变化向量,并将设备冲突密度曲线与配方参数变化向量进行模糊运算,得到工艺冲突隶属度;根据工艺冲突隶属度识别工艺冲突域; 采用预设的插队算法将若干个补偿批次动态插入至预设的派工队列中,得到最优的派工执行序列,具体为: 获取当前派工队列的状态数据,并对状态数据进行结构化映射,得到派化拓扑表; 基于派化拓扑表,按照预设的时间序列对补偿批次的预设可插入节点进行分层扫描,得到若干个有序候选链表; 对若干个有序候选链表分别进行正反向序列切换比对,并根据对比结果识别最优断点; 将补偿批次插入至最优断点上,得到最优的派工执行序列。
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