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龙图腾网获悉成都思越智能装备股份有限公司申请的专利方型晶圆传感器式定位系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121089646B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511642639.4，技术领域涉及：G01B21/00；该发明授权方型晶圆传感器式定位系统是由赵建普;郑仕国设计研发完成，并于2025-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本方型晶圆传感器式定位系统在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆定位技术领域，具体涉及一种方型晶圆传感器式定位系统，包括：水平移动平台，且水平移动平台上承载有旋转平台；旋转平台上设置有多个晶圆定位针，用于承载方型晶圆；多个定位传感器固定设置在水平移动平台的外部，且位于水平移动平台外周的不同位置，用于检测方型晶圆对于定位传感器的实际覆盖距离；定位控制模块，根据实际覆盖距离以及预设的标准覆盖距离，确定方型晶圆的实际位置，控制水平移动平台进行水平移动和或控制旋转平台进行转动。采用非接触式传感器检测，避免了传统机械式对准器中轴承、齿轮等部件的直接摩擦和磨损，降低因部件老化导致的维护频率和更换成本，减少机械磨损和维护需求。

本发明授权方型晶圆传感器式定位系统在权利要求书中公布了：1.一种方型晶圆传感器式定位系统，其特征在于，包括水平移动平台、多个定位传感器、定位控制模块； 所述水平移动平台能够在水平方向移动，且所述水平移动平台上承载有旋转平台； 所述旋转平台上设置有多个晶圆定位针，所述晶圆定位针用于承载方型晶圆； 所述多个定位传感器固定设置在所述水平移动平台的外部，且位于所述水平移动平台外周的不同位置，用于检测所述方型晶圆对于所述定位传感器的实际覆盖距离； 所述定位控制模块，根据所述实际覆盖距离以及预设的标准覆盖距离，确定所述方型晶圆的实际位置，并根据所述实际位置，控制所述水平移动平台进行水平移动和或控制所述旋转平台进行转动； 所述多个定位传感器包括：第一定位传感器、第二定位传感器、第三定位传感器； 所述第一定位传感器设置在所述水平移动平台的预设移动方向的一侧，且朝向为所述预设移动方向的一侧； 所述第二定位传感器、所述第三定位传感器分别设置在所述预设移动方向的两侧，且朝向为所述预设移动方向； 所述第一定位传感器相比于所述第二定位传感器、所述第三定位传感器，设置在沿所述预设移动方向的前方； 所述第一定位传感器相比于所述第二定位传感器、所述第三定位传感器，与所述预设移动方向的轴线的距离更远； 所述定位控制模块，获取所述第一定位传感器、所述第二定位传感器、所述第三定位传感器各自分别对应的第一实际覆盖距离、第二实际覆盖距离、第三实际覆盖距离，以及各自分别对应的第一标准覆盖距离、第二标准覆盖距离、第三标准覆盖距离； 将所述第二实际覆盖距离、所述第三实际覆盖距离之间的距离差值，与所述第二标准覆盖距离、所述第三标准覆盖距离之间的距离差值进行对比，以根据对比结果和预设标准差值范围，控制所述旋转平台进行转动； 针对所述第二定位传感器或所述第三定位传感器，确定其对应的实际覆盖距离与对应的标准覆盖距离之间的距离差值，并根据该距离差值与预设标准差值范围进行对比，以根据对比结果控制所述水平移动平台进行水平移动； 确定所述第一实际覆盖距离、所述第一标准覆盖距离之间的距离差值，并根据该距离差值与预设标准差值范围进行对比，以根据对比结果控制所述旋转平台进行转动； 所述定位控制模块，确定所述第二实际覆盖距离、所述第三实际覆盖距离之间的第一实际距离差值，以及所述第二标准覆盖距离、所述第三标准覆盖距离之间的第一标准距离差值； 若所述第一实际距离差值的绝对值与所述第一标准距离差值的绝对值之间的差值，超过所述预设标准差值范围，则根据所述第一实际距离差值的正负值，选择相应的旋转方向，控制所述旋转平台进行转动； 所述定位控制模块，针对所述第二定位传感器或所述第三定位传感器，确定其对应的实际覆盖距离与对应的标准覆盖距离之间的第一实际-标准距离差值； 将所述第一实际-标准距离差值与预设标准差值范围进行对比，若所述第一实际-标准距离差值超过所述预设标准差值范围，则根据所述第一实际-标准距离差值的正负值，控制所述水平移动平台进行水平移动，以靠近或远离用于计算所述第一实际-标准距离差值的定位传感器； 所述定位控制模块，确定所述第一实际覆盖距离、所述第一标准覆盖距离之间的第二实际-标准距离差值； 将所述第二实际-标准距离差值与预设标准差值范围进行对比，若所述第二实际-标准距离差值超过所述预设标准差值范围，则根据所述第二实际-标准距离差值的正负值，控制所述水平移动平台进行水平移动，以靠近或远离所述第一定位传感器。

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