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浙江众凌科技有限公司张志锴获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利金属掩膜版获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121109944B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511613662.0,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权金属掩膜版是由张志锴;徐华伟;龚月良;夏孝定;叶大成;冯志恒设计研发完成,并于2025-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

金属掩膜版在说明书摘要公布了:本申请提供了一种金属掩膜版。该金属掩膜版包括:有效区、夹持区和过渡区。夹持区间距设置于有效区沿第一方向的至少一端;夹持区包括:位于沿第二方向的至少一端的夹爪区;第二方向与第一方向相交,且均平行于金属掩膜版;过渡区设置于有效区和夹持区之间;过渡区包括至少一个条带区;沿第二方向,条带区包括:中间区、夹爪对应区和边缘区;边缘区围设于夹爪对应区和中间区外;沿第一方向,夹爪区与夹爪对应区至少部分重叠;中间区包括多个第一通孔,夹爪对应区包括多个第二通孔,边缘区包括多个第三通孔;单位体积内,所述边缘区、夹爪对应区、中间区的实体体积占比依次减小。本申请通过对过渡区分区设计,使其具有足够的强度抵抗夹爪的拉力。

本发明授权金属掩膜版在权利要求书中公布了:1.一种金属掩膜版,其特征在于,包括: 有效区; 夹持区,间距设置于所述有效区沿第一方向的至少一端;所述夹持区包括:位于沿第二方向的至少一端的夹爪区,所述夹爪区与夹爪接触;所述夹持区的中间区域未被所述夹爪接触;所述第二方向与所述第一方向相交,且均平行于所述金属掩膜版; 过渡区,设置于所述有效区和所述夹持区之间;所述过渡区包括至少一个条带区;沿所述第二方向,所述条带区包括:中间区、连接于所述中间区至少一端的夹爪对应区、以及围设于所述中间区和所述夹爪对应区外的边缘区;沿所述第一方向,所述夹爪区与所述夹爪对应区至少部分重叠; 所述中间区包括多个阵列排布的第一通孔,所述夹爪对应区包括多个阵列排列的第二通孔,所述边缘区包括多个阵列排布的第三通孔;单位体积内,所述边缘区的实体体积占比、所述夹爪对应区的实体体积占比以及所述中间区的实体体积占比依次减小;沿所述边缘区的外边缘指向内边缘的方向,所述边缘区单位体积内的实体体积占比逐渐变小。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江众凌科技有限公司,其通讯地址为:314400 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区漕河泾路17号5幢101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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