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龙图腾网获悉江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司申请的专利一种液滴收集结构、腔体、晶圆处理设备及液滴收集方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121123079B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511649068.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种液滴收集结构、腔体、晶圆处理设备及液滴收集方法是由翁嘉遥;梁德富设计研发完成，并于2025-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种液滴收集结构、腔体、晶圆处理设备及液滴收集方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种液滴收集结构、腔体、晶圆处理设备及液滴收集方法，属于半导体制造技术领域。液滴收集结构包括沿第一方向阵列或等间距设置的多个凸起，任意一个凸起沿第一方向的最大宽度为M，任意一个凸起沿第二方向的高度为H；任意相邻的两个凸起之间形成有沿第三方向直线延伸且开口向下设置的槽道，槽道的横截面的形状与凸起的横截面的形状相同或相似，且槽道的最大宽度N小于或等于凸起的宽度M，第一方向、第二方向和第三方向两两呈夹角设置；其中，H大于或等于1.1N且小于或等于20N，N小于或等于1mm。本发明的液滴收集结构、腔体、晶圆处理设备及液滴收集方法，能捕获溅射液滴并沿槽道定向流动，防止了液滴无规律坠落。

本发明授权一种液滴收集结构、腔体、晶圆处理设备及液滴收集方法在权利要求书中公布了：1.一种液滴收集结构，其特征在于，包括： 多个凸起200，多个所述凸起200沿第一方向阵列或等间距设置； 沿所述第一方向，任意一个所述凸起200的最大宽度为M； 沿第二方向，任意一个所述凸起200从所述凸起200沿第一方向阵列或等间距设置的平面起至所述凸起200的最高处之间的高度为H，所述第二方向与所述第一方向呈夹角设置； 任意相邻的两个所述凸起200之间形成有沿第三方向直线延伸且开口向下设置的槽道300，所述槽道300的横截面的形状与所述凸起200的横截面的形状相同或相似，且所述槽道300的最大宽度N小于或等于所述凸起200的最大宽度M，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均呈夹角设置； 其中，H大于或等于1.1N且小于或等于20N，所述槽道300的最大宽度N小于或等于1mm； 所述液滴收集结构还包括吹气组件400，所述吹气组件400包括多个吹气管420，所述吹气管420的吹气孔410朝向所述槽道300的第一端。

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