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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利一种晶圆储料器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121171945B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511705951.3，技术领域涉及：H10P72/10；该发明授权一种晶圆储料器是由吕忠伟;孙敬雷设计研发完成，并于2025-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆储料器在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆储料器，包括：主箱体，内部形成有用于存放晶圆的存放空间，存放空间设有开口；挡板结构，设于开口处且可旋转打开、闭合；挡板结构包括成对设置的多个旋转挡板，多个旋转挡板沿主箱体高度方向依次相邻设于开口处；每一对旋转挡板可同步打开或闭合；第一驱动装置，可沿主箱体的高度方向、第一转轴的轴线方向移动；第一驱动装置包括第一驱动主体和可同步转动两个第一驱动部，两个第一驱动部均设于第一驱动主体的一侧，每一个第一驱动部朝向该第一转轴的端部设有第二耦合部；当两个第二耦合部与对应第一耦合部插接时，通过两个第一驱动部可驱动对应对旋转挡板摆动。具有低微粒污染与长寿命的优点。

本发明授权一种晶圆储料器在权利要求书中公布了：1.一种晶圆储料器，其特征在于，包括： 主箱体，内部形成有用于存放晶圆的存放空间，所述存放空间设有开口； 挡板结构，设于所述开口处且可旋转打开、闭合，当所述挡板结构处于闭合状态时，与所述主箱体围合形成密闭腔室，所述密闭腔室内设有保护气体；所述挡板结构包括成对设置的多个旋转挡板，多个所述旋转挡板沿所述主箱体高度方向依次相邻设于所述开口处；每一对所述旋转挡板可同步打开或闭合；其中，每一个所述旋转挡板的两端通过第一转轴与所述主箱体连接，每一个所述第一转轴位于所述主箱体同一侧的端部设有第一耦合部；所述挡板结构还包括设于驱动侧的门板，所述门板具有平行于高度方向的轴线以摆动打开或闭合，当所述门板、全部所述旋转挡板处于闭合状态时，与所述主箱体围合形成所述密闭腔室； 第一驱动装置，可沿所述主箱体的高度方向、所述第一转轴的轴线方向移动，以运动至目标旋转挡板第一转轴的设有所述第一耦合部的位置；所述第一驱动装置包括第一驱动主体和可同步转动两个第一驱动部，两个所述第一驱动部均设于所述第一驱动主体的一侧，每一个所述第一驱动部朝向该第一转轴的端部设有第二耦合部，且两个所述第二耦合部之间的间距与每一对所述第一耦合部之间的间距相等；当两个所述第二耦合部与对应所述第一耦合部插接时，通过两个所述第一驱动部可驱动对应对所述旋转挡板摆动； 还包括第一密封齿条，所述第一密封齿条与所述旋转挡板的长度方向一致；所述主箱体的所述开口的顶部、底部、以及每一所述旋转挡板内侧的底部分别设有所述第一密封齿条；其中，每一个所述旋转挡板内侧的底部设置有第一密封齿，与用于与对应所述第一密封齿条的第一啮合齿连接，且位于最顶部的所述旋转挡板内侧的顶部还设有所述第一密封齿，用于与位于顶部的所述第一密封齿条的第一啮合齿连接； 还包括第二密封齿条，所述第二密封齿条沿高度方向延伸；每一所述旋转挡板的两端分别设有第二密封齿，用于与设于其两端的所述第二密封齿条的第二啮合齿连接。

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