天合光能股份有限公司徐业获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利接触电阻的测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121208446B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511767374.0,技术领域涉及:G01R27/08;该发明授权接触电阻的测试方法是由徐业;殷丽;齐莲莲;邓陈;夏锐;刘振坤;张学玲设计研发完成,并于2025-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本接触电阻的测试方法在说明书摘要公布了:本申请涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种接触电阻的测试方法。本申请实施例用于测试目标金属氧化物层与TCO层之间接触界面所产生的接触电阻,该方法通过设计第一器件包含目标金属氧化物层目标TCO界面和第二器件不包含目标金属氧化物层目标TCO界面的差分比较,并利用公式,将器件的电阻R1,R2以及材料本身的体电阻即线电阻与厚度的乘积贡献剥离出去,从而提取出由界面特性决定的界面接触电阻值,能够精确测试目标金属氧化物层目标TCO界面的接触电阻。
本发明授权接触电阻的测试方法在权利要求书中公布了:1.一种接触电阻的测试方法,其特征在于,包括以下步骤: 提供第一器件和第二器件; 其中,所述第一器件包括第一对称双面载流子选择性接触结构,所述第一对称双面载流子选择性接触结构具有相对设置的正面和背面,所述第一对称双面载流子选择性接触结构的正面设有依次层叠有第一透明导电氧化物层、第一金属氧化物层、第二透明导电氧化物层和第一电极,所述第一对称双面载流子选择性接触结构的背面设有依次层叠有第三透明导电氧化物层、第二金属氧化物层、第四透明导电氧化物层和第二电极; 所述第二器件包括第二对称双面载流子选择性接触结构,直接设置于所述第二对称双面载流子选择性接触结构正面的第五透明导电氧化物层、直接设置于所述第二对称双面载流子选择性接触结构背面的第六透明导电氧化物层、设置于所述第五透明导电氧化物层的第三电极以及设置于所述第六透明导电氧化物层上的第四电极; 所述第二对称双面载流子选择性接触结构和所述第一对称双面载流子选择性接触结构具有相同的材质和尺寸; 所述第二透明导电氧化物层和所述第五透明导电氧化物层具有相同的材质与尺寸; 所述第四透明导电氧化物层和所述第六透明导电氧化物层具有相同的材质与尺寸; 所述第一透明导电氧化物层和所述第三透明导电氧化物层具有相同的材质与尺寸; 所述第一金属氧化物层和所述第二金属氧化物层具有相同的材质与尺寸; 根据待测的接触界面,获取目标金属氧化物层和目标透明导电氧化物层; 构建所述第一器件和所述第二器件,使得所述第一金属氧化物层与所述目标金属氧化物层具有相同的材质和尺寸,且所述第一透明导电氧化物层与目标透明导电氧化物层具有相同的材质和尺寸,分别获取所述第一器件的电阻R1和所述第二器件的电阻R2; 获取所述目标金属氧化物层的厚度T金属氧化物层、所述目标金属氧化物层的线电阻Rwire-金属氧化物层、所述目标透明导电氧化物层的厚度T透明导电氧化物层、所述目标透明导电氧化物层的线电阻Rwire-透明导电氧化物层以及所述目标金属氧化物层和所述目标透明导电氧化物层之间的接触面积S; 根据式1获取所述目标金属氧化物层和所述目标透明导电氧化物层的接触电阻Rcontact: Rcontact=R1-R2-T金属氧化物层×Rwire-金属氧化物层×2-T透明导电氧化物层×Rwire-透明导电氧化物层×24×S1; 其中,所述目标金属氧化物层的线电阻Rwire-金属氧化物层的获取方法包括: 构建若干个所述第一器件,使得各个所述第一器件中的所述第一金属氧化物层的厚度互不相同,剩余均相同,且所述第一金属氧化物层具有与所述目标金属氧化物层相同的材质; 分别获取所述第一器件的电阻,建立所述电阻与所述第一金属氧化物层的厚度的函数关系; 获取所述函数关系的斜率,即为所述目标金属氧化物层的线电阻Rwire-金属氧化物层; 所述目标透明导电氧化物层的线电阻Rwire-透明导电氧化物层的获取方法包括: 构建若干个所述第一器件,使得各个所述第一器件中的所述第一透明导电氧化物层的厚度互不相同,剩余均相同,且所述第一透明导电氧化物层具有与所述目标透明导电氧化物层相同的材质; 分别获取所述第一器件的电阻,建立所述电阻与所述第一透明导电氧化物层的厚度的函数关系; 获取所述函数关系的斜率,即为所述目标透明导电氧化物层的线电阻Rwire-透明导电氧化物层。
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