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龙图腾网获悉沈阳和研科技股份有限公司申请的专利一种晶圆修边设备、晶圆修边设备的控制方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121215572B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511770711.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆修边设备、晶圆修边设备的控制方法及装置是由郑庆洋;王松;张若迪;王志伟;董海昌;刘雪飞;徐鹏;李建宁设计研发完成，并于2025-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆修边设备、晶圆修边设备的控制方法及装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆修边设备技术领域，尤其涉及一种晶圆修边设备、晶圆修边设备的控制方法及装置，该晶圆修边设备包括：下料腔室，设置有用于向下料腔室内吹风的第一吹风组件；正面清洗腔室，与下料腔室连通，正面清洗腔室设置有用于向正面清洗腔室内吹风的第二吹风组件；背面清洗腔室，与正面清洗腔室连通；切割腔室，与背面清洗腔室连通，设置有第一排风口，第一排风口与负压排风系统相连接。通过上述各部件的相互配合，可实现在各个腔室连通转运过程中，下一腔室内的气流流向上一腔室，进而保证在晶圆向下一腔室转运时，前道工序加工中产生的污染物不会流向下一道工序，从而避免晶圆在清洗洁净后被二次污染。

本发明授权一种晶圆修边设备、晶圆修边设备的控制方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆修边设备，其特征在于，包括： 下料腔室，设置有用于向所述下料腔室内吹风的第一吹风组件； 正面清洗腔室，与所述下料腔室连通，所述正面清洗腔室设置有用于向所述正面清洗腔室内吹风的第二吹风组件；位于所述正面清洗腔室和所述下料腔室之间的连通位置上设有第一控制门，所述第一控制门用于控制所述正面清洗腔室和所述下料腔室连通或隔断； 背面清洗腔室，与所述正面清洗腔室连通，且位于所述正面清洗腔室和所述背面清洗腔室之间的连通位置上设有第二控制门，所述第二控制门用于控制所述正面清洗腔室和所述背面清洗腔室连通或隔断； 切割腔室，与所述背面清洗腔室连通，设置有第一排风口，所述第一排风口与负压排风系统相连接； 控制模块，用于在所述晶圆在所述正面清洗腔室内被清洗时，控制所述第一控制门对所述正面清洗腔室和所述下料腔室隔断、以及控制所述第二控制门对所述正面清洗腔室和所述背面清洗腔室隔断，和或在所述晶圆在所述背面清洗腔室内被清洗时，控制所述第二控制门对所述正面清洗腔室和所述背面清洗腔室隔断； 所述第二控制门包括： 相对设置的第二门挡板和第三门挡板，均活动安装于所述正面清洗腔室和所述背面清洗腔室之间的通道上，在所述正面清洗腔室和背面清洗腔室被所述第二门挡板和所述第三门挡板隔断时，所述第二门挡板、所述第三门挡板、以及所述正面清洗腔室和所述背面清洗腔室之间的通道形成清理空间，所述清理空间连通有用于与所述负压排风系统相连接的第二排风口。

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