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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利温度控制方法、装置、计算机设备和可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121237701B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511795278.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权温度控制方法、装置、计算机设备和可读存储介质是由王新河;张跃凯;王松涛;常晓阳;赵巍胜设计研发完成，并于2025-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本温度控制方法、装置、计算机设备和可读存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及一种温度控制方法、装置、计算机设备和可读存储介质。应用于刻蚀设备技术领域，所述方法包括：基于目标温度数据和预设加热模型，确定加热区域的目标加热功率；在所述加热区域基于所述目标加热功率运行的情况下，如果确定所述加热区域的实时温度数据满足预设稳定条件，则基于预设起辉干扰模型、预设起辉功率和满足所述预设稳定条件的实时温度数据，确定所述加热区域的补偿加热功率；基于所述补偿加热功率对所述加热区域的温度数据进行补偿，得到补偿后的温度数据。采用本方法能够提高等离子刻蚀机在起辉过程中温度的稳定性和对温度稳定性控制的效率。

本发明授权温度控制方法、装置、计算机设备和可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种温度控制方法，其特征在于，所述方法包括： 基于目标温度数据和预设加热模型，确定加热区域的目标加热功率； 在所述加热区域基于所述目标加热功率运行的情况下，如果确定所述加热区域的实时温度数据满足预设稳定条件，则基于预设起辉干扰模型、预设起辉功率和满足所述预设稳定条件的实时温度数据，确定所述加热区域的补偿加热功率； 基于所述补偿加热功率对所述加热区域的温度数据进行补偿，得到补偿后的温度数据； 其中，所述加热区域包括多个加热子区域，每个所述加热子区域的目标温度数据不同； 所述方法还包括： 针对各所述加热子区域，获取多个第二样本稳态温度数据、各所述第二样本稳态温度数据对应的样本起辉功率和各所述第二样本稳态温度数据对应的各所述加热子区域的样本加热功率；对多个所述第二样本稳态温度数据、各所述第二样本稳态温度数据对应的样本起辉功率和各所述第二样本稳态温度数据对应的各所述加热子区域的样本加热功率和进行拟合处理，得到温度影响关系，以及确定所述温度影响关系的第二线性系数，所述温度影响关系表征所述样本加热功率和所述样本起辉功率对温度的影响； 基于各所述加热子区域的所述温度影响关系和所述第二线性系数，确定所述预设起辉干扰模型。

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