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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技股份有限公司申请的专利一种基于频率簇的等离子体源的控制系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121334960B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511902501.3，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权一种基于频率簇的等离子体源的控制系统及方法是由潘小刚;顾小军;束寅志;朱培文设计研发完成，并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于频率簇的等离子体源的控制系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了等离子体源技术领域内的一种基于频率簇的等离子体源的控制系统及方法。该控制系统的控制单元内置LSF负载阻抗预测模型和频率簇调制模块，控制PWM驱动单元输出脉冲信号；维持电路用于进入恒功率阶段后维持母线电压稳定；采样单元采集谐振输出电压和电流；多传感器模块监测反应腔体的气体流量Q、压力P和温度T；LSF模型基于Q、P、T输出负载阻抗预测值Zs；频率簇调制模块在恒功率阶段时分段调整开关频率。该控制系统利用LSF负载阻抗预测模型能实现负载阻抗的精准预测，并通过频率簇调制模块分段控制调整开关频率，实现开关频率无超调的平滑响应，精准适配负载变化，扩大工艺窗口，保障等离子体源恒功率稳定运行。

本发明授权一种基于频率簇的等离子体源的控制系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于频率簇的等离子体源的控制系统，其特征在于，包括控制单元、PWM驱动单元、全桥逆变电路、谐振变换器、变压器、点火电路、维持电路、采样单元、多传感器模块；所述控制单元内置LSF负载阻抗预测模型和频率簇调制模块；所述控制单元控制所述PWM驱动单元输出脉冲信号，控制所述谐振变换器的输出电流；所述谐振变换器将脉冲信号转换为交流源，通过所述变压器为所述点火电路、维持电路提供输入；所述变压器次级线圈分别连接点火电路和维持电路；所述维持电路用于进入恒功率阶段后维持母线电压稳定；所述采样单元采集谐振输出电压和电流；所述多传感器模块监测反应腔体的气体流量Q、压力P和温度T；所述LSF负载阻抗预测模型基于Q、P、T输出负载阻抗预测值Zs；所述频率簇调制模块在恒功率阶段时分段调整开关频率； 所述频率簇调制模块将三个开关周期作为一个频率簇，第一、第三开关周期的频率为fsk、第二开关周期的频率为fsk+1；第k+1时刻的开关频率fsk+1由前一时刻频率fsk推导得出： 10； 其中，tk+1为k+1时刻的累计采样时间，tk为k时刻的累计采样时间；A为时变性频率因子，B为开关频率变化速率的影响因子。

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