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龙图腾网获悉江苏道达智能科技有限公司申请的专利一种用于半导体的故障检测与分类系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121358255B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511892259.6，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权一种用于半导体的故障检测与分类系统是由严翔;辛琳;胡志宏;沈晓设计研发完成，并于2025-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体的故障检测与分类系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体的故障检测与分类系统，涉及故障检测技术领域，通过传感器实时采集半导体工艺参数的原始数据；并将采集的原始数据按预定时间段切分为多个子步骤的数据段；根据各数据段的分布特征数据分布特征指数；根据分布特征指数，择对应的特征提取算法对数据段进行特征提取；从数将提取的特征数据输入至预设质检模型对半导体产品进行质检，输出晶圆的故障类型，这样一来，能够对数据的复杂分布进行判断，还动态调整特征提取算法以适应不同数据的分布特点，从而有效提取数据中潜在的重要特征，确保了故障检测的精度，尤其在复杂工艺环境中，减少误判或漏判的概率，减少对半导体生产的质量和效率的影响。

本发明授权一种用于半导体的故障检测与分类系统在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体的故障检测与分类系统，其特征在于，所述系统包括： 数据采集模块：通过传感器实时采集半导体工艺参数的原始数据；并将采集的原始数据按预定时间段切分为多个子步骤的数据段； 分布特征模块：根据切分后的各数据段的分布特征数据，计算各数据段的分布特征指数；具体过程为： 对采集的原始数据进行一阶差分处理，得到每两个相邻数据点之间的差值序列； 使用小波变换对得到的一阶差分序列进行多尺度分解，并根据小波变换的结果，计算每个尺度下的数据能量； 计算每个尺度下的数据自相关系数，将每个尺度对应的数据段进行划分，划分为若干个窗口，对于每个窗口，计算窗口内所有两个相邻数据点之间的差值，并将所有差值的乘积累加作为每个窗口的相似度；将所有窗口的相似度结果进行平均，得到对应尺度的自相关系数； 对每个尺度的能量和自相似性指数进行归一化处理；将每个尺度的归一化后的能量和自相似性指数相乘，并将所有尺度的归一化后能量和自相似性指数相乘的结果之和作为尺度分布指数； 特征提取模块：根据分布特征指数，选择对应的特征提取算法对数据段进行特征提取；具体过程为： 若数据段为周期性分布特征，则使用频域分析算法和统计概率分布算法提取特征； 若数据段为集中在某一区间的分布特征，则使用极值分析算法提取特征； 故障检测与分类模块：从数据段中提取的特征数据并输入至预设质检模型对半导体产品进行质检，输出晶圆的故障检测结果与故障类型，判断是否存在导致晶圆不合格的故障，并对故障类型进行分类识别。

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