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龙图腾网获悉河北高冶新材料有限公司申请的专利一种基于焦耳热热压烧结的高纯氧化钇靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121377768B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511989595.2，技术领域涉及：C04B35/505；该发明授权一种基于焦耳热热压烧结的高纯氧化钇靶材的制备方法是由王延龙;孙继兵设计研发完成，并于2025-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于焦耳热热压烧结的高纯氧化钇靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明一种基于焦耳热热压烧结的高纯氧化钇靶材的制备方法，属于特种陶瓷制备技术领域，首先采用高活性亚微米尺度的近球形氧化钇粉末，通过真空、氧气气氛切换的方式干燥，然后采用石墨模具、BN涂层的扩散阻挡组合制备冷压素坯；最后通过三阶段焦耳热热压烧结制备氧化钇靶材。本发明实现了低温、短时、高致密化Y2O3靶材烧结，同时极致化地抑制了晶粒长大和热应力开裂，制备出的高纯度、高致密、高性能的氧化钇靶材，可以满足半导体和光学涂层等领域对高质量氧化钇靶材的需求。

本发明授权一种基于焦耳热热压烧结的高纯氧化钇靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于焦耳热热压烧结的高纯氧化钇靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤： S1、原料准备： 采用纯度不低于99.9%、D50粒径为300~500nm、近球形的立方结构的Y2O3粉末，然后通过真空、氧气气氛切换的方式干燥Y2O3粉末，之后将Y2O3粉末真空密封待用； S2、冷压素坯制备： 对石墨模具内腔涮涂BN涂层，在石墨模具底部铺放与石墨模具内径相同的钽箔或铌箔，将步骤S1准备的原料装入石墨模具中，在常温下使用冷压机以10~20MPa压力单向冷压Y2O3粉末1min，再在Y2O3粉末上方铺放钽箔或铌箔，用石棉毡包裹石墨模具外侧，得到在石墨模具中成型的冷压素坯； S3、三阶段焦耳热热压烧结制备氧化钇靶材： S31、脱气与预热阶段：将步骤S2制备的冷压素坯移至焦耳热热压烧结炉中，施加5~10MPa的预压力，先对炉体内部抽真空，当真空度≤1×10-2Pa后，开始从室温以50~100℃min的升温速率升温至第一烧结温度600~800℃，保温2~3min； S32、预烧阶段：停止抽真空，向炉内回充高纯氩气至炉内压力为300~500Pa进行氧分压控制，再以30~60℃min的升温速率梯度升温至第二烧结温度1200~1300℃；同时，在加热过程中以1.0~2.4MPamin的速率梯度加压至25~30MPa，保温保压2~3min； S33、终烧阶段：再次向炉内充入高纯氩气到500~1000Pa进行氧分压控制，在加热过程中保持预烧阶段的25~30MPa压力不变，再以15~20℃min的升温速率梯度升温至烧结温度1580~1650℃，然后到达目标温度时快速将压力升至40~50MPa，保温保压3~8min； S4、冷却： 烧结结束后，保持500~1000Pa的炉内气体压力不变，保持40~50MPa的压力不变，以50~100℃min的冷却速率降温至1000℃；从1000℃开始，控制冷却速率降至20~30℃min，同时压力连续下降，直到600℃压力降到10MPa；在600℃以下随炉冷却，压力继续下降到5MPa；当炉温降至150℃时，完全卸压出炉，完成冷却过程，得到氧化钇靶材。

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