英乐威环保科技(常州)有限公司苏振定获国家专利权
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龙图腾网获悉英乐威环保科技(常州)有限公司申请的专利一种硅片加工用槽式RCA清洗设备的上下料工作台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223970500U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520583384.8，技术领域涉及：B08B3/04；该实用新型一种硅片加工用槽式RCA清洗设备的上下料工作台是由苏振定;高军利;李军设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片加工用槽式RCA清洗设备的上下料工作台在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种硅片加工用槽式RCA清洗设备的上下料工作台，包括工作台平面、升降平移机构、夹持机构和承载机构；夹持机构包括夹持臂、上被动夹爪和下主动夹爪，夹持臂由升降平移机构带动，下主动夹爪设置在夹持臂下端，上被动夹爪通过铰接轴铰接设置在夹持臂上端，上被动夹爪与夹持臂之间通过扭簧弹性支撑；下主动夹爪在升降平移机构带动夹持臂上的下主动夹爪配合夹持承载底板时，沿铰接轴转定并与承载侧板摩擦配合。本实用新型结构设计合理，夹持机构可有效夹持承载机构的，避免上下料过程中发生晃动，有效保证硅片清洗质量。
本实用新型一种硅片加工用槽式RCA清洗设备的上下料工作台在权利要求书中公布了：1.一种硅片加工用槽式RCA清洗设备的上下料工作台，安装在槽式RCA清洗机上，其特征在于：包括工作台平面、升降平移机构、夹持机构和承载机构；所述的承载机构置于工作平台平面上，硅片设置在承载机构内；所述的升降平移机构带动夹持机构在水平方向和高度方向上移动； 所述的承载机构包括承载底板和固定在承载底板两侧的承载侧板； 所述的夹持机构包括夹持臂、上被动夹爪和下主动夹爪，所述的夹持臂由升降平移机构带动，所述的下主动夹爪设置在夹持臂下端，所述的上被动夹爪通过铰接轴铰接设置在夹持臂上端，所述的上被动夹爪与夹持臂之间通过扭簧弹性支撑，所述的扭簧一端与上被动夹爪固定、另一端与夹持臂固定，且扭簧的轴线为铰接轴轴线；所述的下主动夹爪在升降平移机构带动夹持臂上的下主动夹爪配合夹持承载底板时，沿铰接轴转定并与承载侧板摩擦配合。
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