浙江汉华半导体科技有限公司周潘潘获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江汉华半导体科技有限公司申请的专利一种硅片超声波清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223970524U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520418883.1，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种硅片超声波清洗设备是由周潘潘;张文青;刘进竹;蒋业应设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片超声波清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片超声波清洗设备，属于超声波清洗设备技术领域，包括机架、若干清洗槽、若干振动槽、喷淋槽、超声波发生器、微气泡发生器和循环过滤机构，机架包括下框架和上框架，若干清洗槽、振动槽和喷淋槽依次固定安装于下框架上，相邻的两个清洗槽、振动槽或喷淋槽之间通过循环过滤机构互相联通；振动槽底部设有超声波振子阵列，下框架的一侧安装有超声波发生器，超声波发生器与超声波振子阵列电路连接；微气泡发生器固定安装于振动槽底部内壁，并通过循环过滤机构连接外部气泵，微气泡发生器与超声波振子协同工作，产生的微气泡作为空化核，降低了空化效应的能量阈值，增强空化效应，提升清洗效果。
本实用新型一种硅片超声波清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片超声波清洗设备，其特征在于：包括机架1、若干清洗槽2、若干振动槽3、喷淋槽4、超声波发生器5、微气泡发生器6和循环过滤机构7，机架1包括下框架11和上框架12，若干清洗槽2、振动槽3和喷淋槽4依次固定安装于下框架11上，相邻的两个清洗槽2、振动槽3或喷淋槽4之间通过循环过滤机构7互相联通；振动槽3底部设有超声波振子阵列31，下框架11的一侧安装有超声波发生器5，超声波发生器5与超声波振子阵列31电路连接，微气泡发生器6固定安装于振动槽3底部内壁，并通过循环过滤机构7连接外部气泵。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江汉华半导体科技有限公司，其通讯地址为：312080 浙江省绍兴市柯桥区安昌街道柯海大道1299号东盛慧谷10幢一楼101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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