深圳市博特精密设备科技有限公司赵飞获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市博特精密设备科技有限公司申请的专利一种精密皮秒激光膜切机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223971004U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520620142.1,技术领域涉及:B23K26/08;该实用新型一种精密皮秒激光膜切机是由赵飞设计研发完成,并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种精密皮秒激光膜切机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种精密皮秒激光膜切机,涉及半导体加工设备技术领域,包括X轴直线模组,其沿水平方向延伸;Z轴直线模组,其与X轴直线模组滑动连接;激光振镜,其固定安装于Z轴直线模组的移动端;CCD相机,其固定安装于Z轴直线模组的移动端,并与所述激光振镜相邻设置;紫外皮秒激光器,其与激光振镜光路对齐设置;Y轴直线模组,其与X轴直线模组和Z轴直线模组所在的平面垂直设置;产品治具工作台,其固定设置于Y轴直线模组的移动端。本实用新型实现激光头和治具工作台的精确空间定位,确保切割过程的灵活性和准确性,避免因产品摆放偏差导致的切割错误,同时避免损伤下方材料,符合清洁生产要求,降低人力成本。
本实用新型一种精密皮秒激光膜切机在权利要求书中公布了:1.一种精密皮秒激光膜切机,其特征在于,包括 X轴直线模组1,其沿水平方向延伸; Z轴直线模组2,其与所述X轴直线模组1滑动连接,并能够沿竖直方向移动; 激光振镜3,其固定安装于所述Z轴直线模组2的移动端; CCD相机4,其固定安装于所述Z轴直线模组2的移动端,并与所述激光振镜3相邻设置; 紫外皮秒激光器5,其与所述激光振镜3光路对齐设置; Y轴直线模组6,其与所述X轴直线模组1和Z轴直线模组2所在的平面垂直设置; 产品治具工作台7,其固定设置于所述Y轴直线模组6的移动端。
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