无锡芯坤电子科技有限公司章泽润获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯坤电子科技有限公司申请的专利一种晶圆减薄机的厚度检测机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223971381U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520588929.4,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种晶圆减薄机的厚度检测机构是由章泽润设计研发完成,并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆减薄机的厚度检测机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆减薄机的厚度检测机构,涉及晶圆加工技术领域,其技术要点:用于安装在晶圆减薄机上,包括与晶圆减薄机相连接的位置调节组件,位置调节组件的另一端设置有两根厚度检测探针,厚度检测谭政外罩设有防护罩,防护罩上设置有清灰清灰组件;本实用新型能减少灰尘影响厚度检测的精度,保证长期的检测精度。
本实用新型一种晶圆减薄机的厚度检测机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆减薄机的厚度检测机构,用于安装在晶圆减薄机1上,其特征在于:包括与晶圆减薄机1相连接的位置调节组件,所述位置调节组件的另一端设置有两根厚度检测探针2,所述厚度检测谭政外罩设有防护罩3,所述防护罩3上设置有清灰清灰组件。
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