重庆芯联微电子有限公司江浩晔获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种具有结晶清洁装置的化学机械研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223971476U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520469083.2，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型一种具有结晶清洁装置的化学机械研磨设备是由江浩晔;曾柏章设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有结晶清洁装置的化学机械研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种具有结晶清洁装置的化学机械研磨设备，包括研磨盘、研磨垫、研磨头、研磨架、研磨垫调整器和研磨液供应器；还设置有至少一组结晶清洁装置，所述结晶清洁装置用于冲洗所述研磨架、研磨垫调整器和研磨液供应器。通过增加结晶清洁装置，对易产生结晶物的研磨架、研磨垫调整器和研磨液供应器的表面进行冲洗，能够有效减少晶圆的划伤。
本实用新型一种具有结晶清洁装置的化学机械研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种具有结晶清洁装置的化学机械研磨设备，其特征在于，包括研磨盘、研磨垫、研磨头、研磨架、研磨垫调整器和研磨液供应器； 还设置有至少一组结晶清洁装置，所述结晶清洁装置用于冲洗所述研磨架、研磨垫调整器和研磨液供应器。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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